[实用新型]一种光学检测装置及玻璃基板检测系统有效

专利信息
申请号: 201120174429.4 申请日: 2011-05-27
公开(公告)号: CN202083648U 公开(公告)日: 2011-12-21
发明(设计)人: 白国晓;赵海生;黄雄天;林金升;李毅楠;肖志莲;杨海洪 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: G01N21/958 分类号: G01N21/958
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 李娟
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 光学 检测 装置 玻璃 系统
【权利要求书】:

1.一种光学检测装置,其特征在于,包括:

位于玻璃基板(2)外侧的、沿着所述玻璃基板(2)上表面向至少两个方向发出光线的发光组件(5),所述发光组件(5)的每个发光面发出的光线均覆盖所述玻璃基板(2)上表面;

接收所述发光组件(5)发出的光线的收光组件(6);

与所述收光组件(6)连接,根据所述收光组件(6)接收的光线确定杂质位置的确定组件(7)。

2.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述发光组件(5)包括一个线光源时,所述线光源具有至少一个弯折角,形成至少两个发光面,向至少两个方向发出光线。

3.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述发光组件(5)包括第一线光源和第二线光源,所述第一线光源和第二线光源的发光面发出的光线具有交点。

4.如权利要求3所述的光学检测装置,其特征在于,所述第一线光源的发光面与所述第二线光源的发光面发出的光线垂直。

5.如权利要求4所述的光学检测装置,其特征在于,当所述玻璃基板(2)为矩形时,第一线光源的发光面面向所述玻璃基板(2)的宽边,且第一线光源的长度不小于所述玻璃基板(2)的宽边的长度;第二线光源的发光面面向所述玻璃基板(2)的长边,且第二线光源的长度不小于所述玻璃基板(2)的长边的长度。

6.如权利要求4所述的光学检测装置,其特征在于,当所述玻璃基板(2)为多边形时,第一线光源的发光面面向所述玻璃基板(2)外接矩形框的宽边,且第一线光源的长度不小于所述玻璃基板(2)外接矩形框的宽边的长度;第二线光源的发光面面向所述玻璃基板(2)外接矩形框的长边,且第二线光源的长度不小于所述玻璃基板(2)的外接矩形框的长边的长度。

7.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述发光组件(5)包括的光源数目大于两个时,至少一个线光源的发光面发出的光线与其余线光源的发光面发出的光线具有交点。

8.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述发光组件(5)与玻璃基板(2)上表面所在平面的垂直距离小于100微米。

9.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,所述收光组件(6)与所述发光组件(5)位于同一平面,所述收光组件(6)的数目与所述发光组件(5)中的光源数目相同,且位置与所述光源的位置相对应。

10.一种玻璃基板检测系统,包括检测所述玻璃基板的玻璃基板检测装置(3),其特征在于,还包括:权利要求1-9任一所述的光学检测装置。

11.如权利要求10所述的系统,其特征在于,还包括:

控制所述玻璃基板检测装置跳过杂质的控制装置(9)。

12.如权利要求10所述的系统,其特征在于,还包括:

清除所述玻璃基板上的杂质的清除装置(10)。

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