[实用新型]一种抛光机有效
| 申请号： | 201120169811.6 | 申请日： | 2011-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN202088090U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 程伯海;张庆泽 | 申请（专利权）人： | 北京通美晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 101113 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光机 | ||
【权利要求书】：
1.一种抛光机，包括：所述抛光机具有上盘和下盘，所述上盘的下表面安装晶片，其特征在于，
与所述上盘对应的下盘一侧的机身位置上安装喷水冲洗装置，所述喷水冲洗装置自动冲洗晶片。
2.如权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述喷水冲洗装置包括摆动臂、与所述摆动臂连接的气缸驱动装置；
所述摆动臂前端安装至少一个喷头。
3.如权利要求2所述的抛光机，其特征在于，还包括安装在位于下盘一侧的机身上的支架，所述气缸驱动装置安装在支架上。
4.如权利要求2或3所述的抛光机，其特征在于，所述气缸驱动装置包括摆动气缸和摆动杆，所述摆动臂与摆动杆连接，摆动气缸通过摆动杆驱动摆动臂运动。
5.如权利要求2所述的抛光机，其特征在于，所述摆动臂为管状。
6.如权利要求5所述的抛光机，其特征在于，所述摆动臂由PVC材料或不锈钢材料制成。
7.如权利要求5所述的抛光机，其特征在于，所述摆动臂为圆弧形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京通美晶体技术有限公司，未经北京通美晶体技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120169811.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
