[实用新型]一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，属于多晶硅尾气处理技术领域。

背景技术

在多晶硅生产中，三氯氢硅合成工序和还原工序会产生大量尾气，据估算，每生产1kg多晶硅产品，就会产生40kg的尾气。其主要成份为：氢气(H2)、氯化氢(HCL)、二氯二氢硅(SiH2CL2)、三氯氢硅(SiHCL3)、四氯化硅(SiCL4)，这里将SiH2CL2、SiHCL3、SiCL4统称为氯硅烷。多晶硅尾气既是有效原料气或中间产品，又是对环境具有极大危害的物质，如果只经处理后排放则会产生大量废液、废气，同时造成极大的资源浪费。所以有效分离、回收这些组分，变废为宝是多晶硅生产必须要解决的问题。

目前，利用各组分沸点差这一化工基本分离技术对尾气进行冷却、冷凝，从而降低分离负荷仍是主要方式，但是在冷却、冷凝具体方式上又有所不同：有的采用换热器间接传热、有的采用外部引入的吸收剂作为冷媒。不仅效果差，同时增加了流程的复杂性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺点和不足，提供一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，该净化装置流程简单，有效地提高了回收效率，降低了生产成本，为后续生产提供了原料。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，包括依次连通的热交换器、洗涤塔、加热器、设置有溶液出口和蒸汽出口的气液分离器，所述热交换器设置有进气口和出气口，所述洗涤塔内部设置有填料，还包括与洗涤塔两端连通的氯硅烷溶液泵，所述氯硅烷溶液泵通过管道与加热器连通。

所述氯硅烷溶液泵与加热器之间设置有深冷器，所述深冷器与洗涤塔连通。

所述洗涤塔顶部设置有气体出口，所述气体出口通过管道与热交换器连通。

所述蒸汽出口通过管道与洗涤塔连通。

所述热交换器设置有氢气/氯化氢气体出口。

综上所述，本实用新型的有益效果是：该净化装置流程简单，有效地提高了回收效率，降低了生产成本，为后续生产提供了原料。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

附图中标记及相应的零部件名称：1—交换器；2—洗涤塔；3—填料；4—氯硅烷溶液泵；5—深冷器；6—加热器；7—气液分离器；8—蒸汽出口；9—溶液出口；10—进气口；11—出气口；12—氢气/氯化氢气体出口。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不仅限于此。

实施例：

如图1所示的一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，包括依次连通的热交换器1、洗涤塔2、加热器6、设置有溶液出口9和蒸汽出口8的气液分离器7，所述热交换器1设置有进气口10和出气口11，所述洗涤塔2内部设置有填料3，还包括与洗涤塔2两端连通的氯硅烷溶液泵4，所述氯硅烷溶液泵4通过管道与加热器6连通。

所述氯硅烷溶液泵4与加热器6之间设置有深冷器5，所述深冷器5与洗涤塔2连通。

一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，包括依次连通的热交换器1、洗涤塔2、加热器6、设置有溶液出口9和蒸汽出口8的气液分离器7，所述热交换器1设置有进气口10和出气口11，所述洗涤塔2内部设置有填料3，所述洗涤塔2与加热器6之间设置有氯硅烷溶液泵4。

所述氯硅烷溶液泵4与加热器6之间设置有深冷器5，所述深冷器5与洗涤塔2连通。

所述洗涤塔2顶部设置有气体出口，所述气体出口通过管道与热交换器1连通。设置在洗涤塔2顶部方便气体的逸出。

所述蒸汽出口8通过管道与洗涤塔2连通。

所述热交换器1设置有氢气/氯化氢气体出口12。

工作原理：来自界外的多晶硅尾气，压力0.5~1.0Mpa，温度40~180度，通过进气口10进入热交换器1中，首先与来自洗涤塔2顶部的氢气、氯化氢气体换热，回收冷量，温度降至40度以下，换热后的多晶硅尾气通过出气口11进入洗涤塔2，在向上流动的过程中，在填料 3表面与自上而下的循环氯硅烷溶液发生传质、传热作用，使沸点较高的SiCL₄、SiHCL₃、SiHCL₃依次冷凝为液态，而沸点较低的氢气、氯化氢仍为气态，换热后的气体通过氢气/氯化氢气体出口12进入另一个回收装置中回收。