[实用新型]一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置无效
| 申请号： | 201120162810.9 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN202070276U | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 曾启明;钟雨明;牟树荣;张学文;李园华 | 申请（专利权）人： | 四川亚连科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;C01B3/52;C01B7/07;C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 梁田 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 尾气 循环 冷凝 洗涤 净化 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，包括依次连通的热交换器（1）、洗涤塔（2）、加热器（6）、设置有溶液出口（9）和蒸汽出口（8）的气液分离器（7），所述热交换器（1）设置有进气口（10）和出气口（11），所述洗涤塔（2）内部设置有填料（3），其特征在于：还包括与洗涤塔（2）两端连通的氯硅烷溶液泵（4），所述氯硅烷溶液泵（4）通过管道与加热器（6）连通。
2.如权利要求1所述的一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，其特征在于：所述氯硅烷溶液泵（4）与加热器（6）之间设置有深冷器（5），所述深冷器（5）与洗涤塔（2）连通。
3.如权利要求1或2所述的一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，其特征在于：所述洗涤塔（2）顶部设置有气体出口，所述气体出口通过管道与热交换器（1）连通。
4.如权利要求1或2所述的一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，其特征在于：所述蒸汽出口（8）通过管道与洗涤塔（2）连通。
5.如权利要求1或2所述的一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置，其特征在于：所述热交换器（1）设置有氢气/氯化氢气体出口（12）。
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