[实用新型]制备电子级超纯水的设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子行业生产工艺用水领域，具体涉及一种制备电子级超纯水的设备。

背景技术

集成电路的生产，几乎每道工序需要超纯水进行清洗，工件与水直接接触，一方面芯片在加工过程中的微量玷污得到清洗，而另一方面纯水中的微量杂质又可能使芯片再污染，无疑对产品有着极大的影响。 随着集成电路程度的进一步提高，对水中污染物要求亦更为严格。

目前国内大多数电子行业用超纯水系统由国外公司提供，而由国内公司提供的系统无法达到电子级水质标准，同时，由于国外公司不清楚国内各个区域原水水质状况，所以系统设计非常繁杂，既不经济，又不方便操作和维护，不利于运行成本的控制。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种在产水水质达到电子级超纯水标准的条件下，操作简单、成本更低、运行稳定的制备电子级超纯水的设备。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种制备电子级超纯水的设备，包括连接自来水的原水箱，原水箱后通过管道依次连接预处理过滤系统、反渗透系统、CDI系统以及和上述系统电连并控制上述系统的PLC控制系统；

所述预处理过滤系统包括通过管道依次连接的多介质过滤器、活性炭过滤器和保安过滤器，所述活性炭过滤器与保安过滤器之间设置有阻垢剂药箱，该阻垢剂药箱出口通过管道与保安过滤器进水口连接，且该阻垢剂药箱管道上设有计量泵；

所述反渗透系统包括通过管道依次连接的一级高压泵、一级反渗透膜组、一级反渗透水箱、二级高压泵、二级反渗透膜组和二级反渗透水箱，所述一级反渗透水箱和二级高压泵之间设置有NaOH添加装置，该NaOH添加装置出口通过管道与二级高压泵进水口连接，所述NaOH添加装置与二级高压泵之间的管道上设置有计量泵、PH检测器；

所述CDI系统包括通过管道依次连接的CDI膜堆和CDI水箱；CDI水箱通过管道连接终端微滤器。

相对于现有技术，本实用新型具有如下优点：

1、本制备电子级超纯水的设备采用PLC自动控制水处理及系统清洗，提高了系统的稳定性和控制的精确性，保证了产水水质。

2、多介质过滤器与活性炭过滤器采用上进下出水流方式，过滤效果好且维护检修方便。

3、采用两级反渗透膜处理，不需要添加大量的化学药剂和酸碱再生处理，无化学废液及废酸、碱排放，无废酸、碱的中和处理过程，不会造成环境污染。

4、反渗透水箱设置呼吸阀，确保了纯水不受外界污染；一级反渗透水箱设置洋流选配功能，使水箱多余水量自动洋流，确保了一级反渗透膜组不需要频繁启动。

附图说明

图1为本实用新型系统结构图；

其中，1为原水箱1，2为多介质过滤器，3为活性炭过滤器3，4为保安过滤器，5为一级高压泵，6为一级反渗透膜组，7为一级反渗透水箱，8为二级高压泵，9为二级反渗透膜组，10为CDI膜堆，11为CDI水质监测仪，12为NaOH添加装置，13为纯水输送泵，14为二级反渗透水箱，15为CDI进水泵，16为超纯水输送泵，17为终端微滤器，18为CDI水箱，19为计量泵，20为阻垢剂药箱，21为PH检测仪，22为水质检测仪，23为原水泵。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明

参见图1：1，原水箱1后通过管道依次连接预处理过滤系统、反渗透系统、CDI系统，和上述系统电连并控制上述系统的PLC控制系统。