[实用新型]制备电子级超纯水的设备

权利要求书

1.制备电子级超纯水的设备，其特征在于，所述设备包括连接自来水的原水箱，原水箱后通过管道依次连接预处理过滤系统、反渗透系统、CDI系统以及和上述系统电连并控制上述系统的PLC控制系统；

所述预处理过滤系统包括通过管道依次连接的多介质过滤器、活性炭过滤器和保安过滤器，所述活性炭过滤器与保安过滤器之间设置有阻垢剂药箱，该阻垢剂药箱出口通过管道与保安过滤器进水口连接，且该阻垢剂药箱管道上设有计量泵；

所述反渗透系统包括通过管道依次连接的一级高压泵、一级反渗透膜组、一级反渗透水箱、二级高压泵、二级反渗透膜组和二级反渗透水箱，所述一级反渗透水箱和二级高压泵之间设置有NaOH添加装置，该NaOH添加装置出口通过管道与二级高压泵进水口连接，所述NaOH添加装置与二级高压泵之间的管道上设置有计量泵、PH检测器；

所述CDI系统包括通过管道依次连接的CDI膜堆和CDI水箱；CDI水箱通过管道连接终端微滤器。

2.根据权利要求1所述制备电子级超纯水的设备，其特征在于，所述一级反渗透膜组和二级反渗透膜组分别由4-8组反渗透装置通过串联、并联或串、并联组合的方式组成；在一级反渗透膜组与一级反渗透水箱之间、二级反渗透膜组与二级反渗透水箱之间设有水质检测仪；一级反渗透膜组和二级反渗透膜组分别设有浓水排放出口，二级反渗透膜组浓水排放出口通过管道与原水箱进水口连接；在CDI膜堆与CDI水箱之间设有CDI水质监测仪。

3.根据权利要求2所述制备电子级超纯水的设备，其特征在于，所述原水箱与多介质过滤器之间设有一套或两套原水泵，在二级反渗透水箱上设有纯水输水泵，在二级反渗透水箱与CDI膜堆之间设有CDI进水泵，在CDI水箱与终端微滤器之间设有超纯水输送泵。

4.根据权利要求3所述制备电子级超纯水的设备，其特征在于，所述多介质过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂药箱、一级反渗透水箱、NaOH添加装置、二级反渗透水箱和CDI水箱上分别设有水位传感器；保安过滤器与一级反渗透水箱通过管道连接，且在其连接管道上设有控制阀；在原水泵与多介质过滤器之间、多介质过滤器与活性炭过滤器之间、阻垢剂药箱与保安过滤器之间、一级高压泵与一级反渗透膜组之间、一级反渗透膜组浓水排放出口管道上、二级高压泵与二级反渗透膜组之间、二级反渗透膜组浓水排放出口管道上、CDI进水泵与CDI膜堆与CDI超纯水箱之间分别设有压力表。

5.根据权利要求4所述制备电子级超纯水的设备，其特征在于，所述一级反渗透水箱、二级反渗透水箱和CDI水箱上分别设有呼吸阀；在保安过滤器与一级高压泵之间、一级反渗透膜组浓水排放出口管道上、一级反渗透水箱与PH检测仪之间、二级反渗透膜组浓水排放出口管道上、二级反渗透装置不合格水排放出口管道上、CDI进水泵与CDI膜堆之间分别设有电磁阀。

6.根据权利要求1-5中任一项所述制备电子级超纯水的设备，其特征在于，所述原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、保安过滤器、压力表、电磁阀、水位传感器、一级高压泵、二级高压泵、水质检测仪、PH检测器、计量泵、纯水输送泵、CDI进水泵、超纯水输送泵分别与PLC控制系统电连，并由PLC控制系统控制其动作。