[实用新型]一种辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针。

背景技术

材料表面渗金属的方法有固体渗金属、液体渗金属、气体渗金属、离子渗金属和其它方法联用的渗金属方法等已广泛用于生产实践中。离子渗金属技术迅速发展于八十年代后期，已进入工业生产。离子渗金属的方法包括双层辉光离子渗金属、多弧离子渗金属、加弧辉光离子渗金属、交变电场真空离子渗金属、脉冲辉光放电离子渗金属和气相辉光离子渗金属。它们的优点是渗速快、变形小、不需要去钝处理、能耗低等。其共同的特点是：辉光放电产生的等离子体(电子、离子或粒子)对工件有强烈的轰击作用。因此，利用等离子体诊断系统对电子温度、等离子体电位、电子密度等这些等离子体参数进行监控可有效提高渗层质量。

现有探针技术对离子渗金属技术可实施等离子体诊断。典型的离子渗金属方法，其基本原理，是在真空容器内设置阳极，阴极(工件)以及由欲渗合金元素组成的源极、阳极和阴极之间以及阳极和源极之间各设一个可调压直流电源，当真空室内氩气压达到一定值后，调节上述电源，则在阳极和阴极以及阳极和源极之间出现辉光放电，此即为双层辉光放电现象。辉光放电源极的欲渗元素在离子轰击下被溅射出来，高速飞向阴极(工件)表面，同时辉光放电使电能转变为热能使工件加热至高温。由源极溅射出来的离子被处于高温的工件表面吸附，借助于扩散过程进入工件表面，从而形成欲渗元素的合金层。

以往利用探针技术在进行的辉光放电离子渗金属等离子体诊断中，所使用的探针由陶瓷管内穿进探针丝作成。其结果表明，放电区域空间的粒子在探针表面很快沉积，造成探针的严重污染，使获得的等离子体参数波动性显著增大，严重影响了渗层质量的有效控制。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种采用在放电区域的陶瓷管外，套一具有弹簧支撑的不锈钢套管的结构，以防止溅射产物直接沉积在绝缘陶瓷管上，离子渗金属等离子体诊断时，在探针上加偏置电压，使探针表面的污染在真空中溅射去除的目的辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针。

本实用新型采用的技术方案：

一种辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针，它包括绝缘陶瓷管和金属丝制探针丝，绝缘陶瓷管外侧设有屏蔽作用的不锈钢套管，不锈钢套管和陶瓷管之间设有支撑弹簧，不锈钢套管的前端密封焊合，并留有一小孔，陶瓷管内穿进探针丝，探针丝的末端与导线连接，探针丝头穿出不锈钢套管前端的小孔，探针头露在小孔外面。

本实用新型取得的技术效果：

1、本实用新型采用在放电区域的陶瓷管外，套一具有弹簧支撑的不锈钢套管的结构，以防止溅射产物直接沉积在绝缘陶瓷管上，离子渗金属等离子体诊断时，在探针上加偏置电压，使探针表面的污染在真空中溅射去除。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施方式做进一步的说明。

参见图1，一种辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针，它包括绝缘陶瓷管2和金属丝制探针丝1，绝缘陶瓷管外侧设有屏蔽作用的不锈钢套管3，不锈钢套管和陶瓷管之间设有支撑弹簧5，不锈钢套管的前端密封焊合，并留有一小孔4，陶瓷管内穿进探针丝，探针丝的末端与导线连接，探针丝头穿出不锈钢套管前端的小孔，探针头露在小孔外面。

本实用新型的保护范围并不限于上述的实施例，显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变形而不脱离本实用新型的范围和精神。倘若这些改动和变形属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围内，则本实用新型的意图也包含这些改动和变形在内。