[实用新型]一种辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针无效
| 申请号： | 201120144518.4 | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN202103008U | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 国宁 | 申请（专利权）人： | 宁波表面工程研究中心 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315177 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 辉光 放电 表面 处理 等离子体 诊断 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种辉光放电表面处理中等离子体诊断用探针，它包括绝缘陶瓷管(2)和金属丝制探针丝(1)，其特征在于：绝缘陶瓷管外侧设有屏蔽作用的不锈钢套管(3)，不锈钢套管和陶瓷管之间设有支撑弹簧(5)，不锈钢套管的前端密封焊合，并留有一小孔(4)，陶瓷管内穿进探针丝，探针丝的末端与导线连接，探针丝头穿出不锈钢套管前端的小孔，探针头露在小孔外面。
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