[实用新型]多晶硅铸锭炉隔热装置

权利要求书

1.多晶硅铸锭炉隔热装置，在坩埚和加热器的外部设置有隔热笼，隔热笼由钢架及为钢架所固定的隔热板所构成，隔热笼为矩形体，共有六个面，其中，四周的隔热笼内侧板分为上下两部分，即上隔热笼内侧板和下隔热笼内侧板；隔热笼内侧板外设置有隔热笼外侧板，隔热笼外侧板分为上下两部分，即上隔热笼外侧板和下隔热笼外侧板；其特征在于：在上隔热笼内侧板的内侧设置有1－4块防护板，所述的防护板指C/C复合板，C/C复合板通过固定螺丝与上隔热笼内侧板和上隔热笼外侧板固定起来。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：在下隔热笼内侧板的内侧设置有1－4块C/C复合板，C/C复合板通过固定螺丝与下隔热笼内侧板和下隔热笼外侧板固定起来。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：固定螺丝指石墨螺杆和石墨螺母。

4.根据权利要求1或2所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板厚为0.3－1cm。

5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板要求：碳元素含量≥99%。

6.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板要求：Al、Ca、Cr、Cu、Fe、K、Mg、Mn、Na、Ni总杂质含量≤1ppm。

7.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板要求：长期承受1500－2200℃温度不变形。

8.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板要求：平行纤维方向、垂直纤维方向拉伸强度均≥5MPa、拉伸模量≥30GPa、导热率≥2W/mK、热膨胀系数≥0.2×10^-6/K。

9.根据权利要求8所述的多晶硅铸锭炉隔热装置，其特征在于：C/C复合板要求：C/C复合板平行纤维方向的拉伸强度为垂直纤维方向拉伸强度10－100倍。