[实用新型]硅片用花篮有效
| 申请号: | 201120118274.2 | 申请日: | 2011-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN202049930U | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
| 发明(设计)人: | 冯帅臣;成品奇;陈清波;王辉;李鹏飞;张茂胜 | 申请(专利权)人: | 江苏伯乐达光伏有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 菅秀君 |
| 地址: | 224051 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 硅片 花篮 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片生产用装置,尤其涉及一种硅片用花篮。
背景技术
随着经济的快速发展,传统能源的日益枯竭和石油价格的不断上升,以及人们对自身生存环境要求的不断提高,作为无污染的清洁能源,太阳能电池必将会得到更加迅猛的发展。
在制作太阳能电池片时,其中有几道工序需要将装好硅片的花篮放入强碱液中制绒或放入酸性溶液中进行清洗。因此,用于装载硅片的花篮应该具备抗腐蚀性同时也不会对硅片造成污染。
通常用于装载硅片的花篮具有六根花篮杆,用于固定多片硅片,其中四根花篮杆的表面具有花篮齿,用来放置硅片并将每个硅片隔开。花篮杆具有不锈钢内衬用于增加承载多个硅片的强度。六根花篮杆的两端分别固定在两个支撑板上。由于花篮的工作环境为强酸碱,长期使用后,在花篮杆与支撑板的连接处会渗入强酸碱,花篮杆内的不锈钢内衬会出现锈蚀的情况,影响工艺卫生,甚至导致花篮变型。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅片用花篮,以解决花篮杆内不锈钢内衬会出现锈蚀的问题。
为解决上述问题,本实用新型提出了一种硅片用花篮,所述硅片用花篮包括多个第一花篮杆、多个第二花篮杆、两个支撑板,所述第一花篮杆的表面具有间隔分布的多个花篮齿,每个所述第一花篮杆的两端分别固定在所述两个支撑板内,每个所述第二花篮杆的两端分别固定在所述两个支撑板内,所述第一花篮杆和所述第二花篮杆均由外壳和设置在外壳内的碳纤维内衬组成。
优选地,所述碳纤维内衬与所述外壳匹配。
优选地,所述碳纤维内衬为碳纤维棒。
优选地,每个所述花篮齿的间距相等。
优选地,所述第二花篮杆的表面光滑。
优选地,所述第一花篮杆的数量为四根。
优选地,所述第二花篮杆的数量为两根。
与现有技术相比,本实用新型提供的硅片用花篮,在强酸碱环境下,即使强酸碱通过第一花篮杆或第二花篮杆与支撑板的连接处进入外壳,但外壳内的碳纤维内衬不会出现锈蚀的情况,同时还保持承载多个硅片的机械强度,因此在花篮杆的外壳内设置碳纤维内衬保证了工艺卫生。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的硅片用花篮的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的硅片用花篮作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书,本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率,仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
本实用新型的核心思想在于,提供一种硅片用花篮,在强酸碱环境下,即使强酸碱通过第一花篮杆或第二花篮杆与支撑板的连接处进入外壳,但外壳内的碳纤维内衬不会出现锈蚀的情况,同时还保持承载多个硅片的机械强度,因此在花篮杆的外壳内设置碳纤维内衬保证了工艺卫生。
图1为本实用新型实施例提供的硅片用花篮的结构示意图。参照图1,硅片用花篮10包括多个第一花篮杆11、多个第二花篮杆12、两个支撑板13,所述第一花篮杆11的表面具有间隔分布的多个花篮齿14,每个所述第一花篮杆11的两端分别固定在所述两个支撑板13内,每个所述第二花篮杆12的两端分别固定在所述两个支撑板13内,所述第一花篮杆11和所述第二花篮杆12均由外壳和设置在外壳内的碳纤维内衬组成。
进一步地,所述碳纤维内衬与所述外壳匹配,在本实施例中,所述碳纤维内衬为碳纤维棒。碳纤维的强度很大,花篮杆中运用碳纤维棒能够保证花篮杆在承载多个硅片时所需要的机械强度。花篮杆的外壳采用聚偏氟乙烯材料,使所述外壳具有高强度和耐腐蚀性。
在本实施例中,多个所述第一花篮杆11和多个所述第二花篮杆12组成一个U型结构,第一花篮杆11的数量为四根,所述第二花篮杆12的数量为两根;所述第二花篮杆12排布在U型结构的底部,第二花篮杆12表面光滑,在装载硅片时,将硅片从U型口装入,在本实施例中,一个硅片用花篮10能够装载50片硅片,将4个花篮10放在一个承载架中,将承载架放入清洗槽,一次可以清洗200片硅片。由于第一花篮杆11具有的每个花篮齿的间距相等,因此到达每片硅片表面的强度相等,提高了清洗的效率。
在装载不同规格硅片的时,可以根据硅片的规格定制相应的装载用花篮。
显然,本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





