[实用新型]硅片用花篮有效

申请号：	201120118274.2	申请日：	2011-04-20
公开（公告）号：	CN202049930U	公开（公告）日：	2011-11-23
发明（设计）人：	冯帅臣;成品奇;陈清波;王辉;李鹏飞;张茂胜	申请（专利权）人：	江苏伯乐达光伏有限公司
主分类号：	H01L21/673	分类号：	H01L21/673;H01L31/18
代理公司：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237	代理人：	菅秀君
地址：	224051 江***	国省代码：	江苏;32
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：
搜索关键词：	硅片花篮
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【权利要求书】：

1.一种硅片用花篮，其特征在于，包括多个第一花篮杆、多个第二花篮杆、两个支撑板，所述第一花篮杆的表面具有间隔分布的多个花篮齿，每个所述第一花篮杆的两端分别固定在所述两个支撑板内，每个所述第二花篮杆的两端分别固定在所述两个支撑板内，所述第一花篮杆和所述第二花篮杆均由外壳和设置在外壳内的碳纤维内衬组成。

2.如权利要求1所述的硅片用花篮，其特征在于，所述碳纤维内衬与所述外壳匹配。

3.如权利要求2所述的硅片用花篮，其特征在于，所述碳纤维内衬为碳纤维棒。

4.如权利要求1所述的硅片用花篮，其特征在于，每个所述花篮齿的间距相等。

5.如权利要求1所述的硅片用花篮，其特征在于，所述第二花篮杆的表面光滑。

6.如权利要求1至5中任一项的硅片用花篮，其特征在于，所述第一花篮杆的数量为四根。

7.如权利要求1至5中任一项的硅片用花篮，其特征在于，所述第二花篮杆的数量为两根。

下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。

免登录下载普通用户下载升级VIP会员，免费下载

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏伯乐达光伏有限公司，未经江苏伯乐达光伏有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】

本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120118274.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。