[实用新型]振动屏蔽式电场传感器

权利要求书

1.一种振动屏蔽式电场传感器，其特征在于：它包括弹性部件、柔性铰链（3）和压电叠堆（4）、底座，以及成对设置的屏蔽电极（2）与感应电极（5）；所述柔性铰链X方向一端固定在底座上，感应电极绝缘地固定在底座上；

所述压电叠堆（4）两端固装于柔性铰链（3）X方向的两侧内壁上，屏蔽电极（2）设置于柔性铰链（3）Y方向外端，并通过弹性部件压紧在柔性铰链（3）Y方向外表面上，屏蔽电极（2）接地且置于成对设置的感应电极（5）上方。

2.根据权利要求1所述的振动屏蔽式电场传感器，其特征在于：所述成对设置的屏蔽电极（2）和感应电极（5）设置一对或二对，二对时分别设置于柔性铰链Y方向的两侧。

3.根据权利要求2所述的振动屏蔽式电场传感器，其特征在于：所述感应电极（5）与屏蔽电极（2）采用形状相同的E形结构。

4.根据权利要求3所述的振动屏蔽式电场传感器，其特征在于：所述成对的感应电极（5）与屏蔽电极（2）二者错位或正对设置。

5.根据权利要求1所述的振动屏蔽式电场传感器，其特征在于：所述弹性部件采用为压簧或U形弹簧结构，弹性部件一端固定，另一端连接屏蔽电极（2）。

6.根据权利要求5所述的振动屏蔽式电场传感器，其特征在于：所述弹性部件一端固定连接压紧螺母（1），另一端固定连接屏蔽电极（2）。

7.根据权利要求1所述的振动屏蔽式电场传感器，其特征在于：所述柔性铰链（3）外形呈椭圆形，X方向对应长轴，Y方向对应长轴。

8.根据权利要求7所述的振动屏蔽式电场传感器，其特征在于：所述屏蔽电极（2）、压紧螺母（1）和感应电极（5）都为金属材质；柔性铰链（3）由弹簧钢、45钢、或铍青铜制成；压电叠堆（4）由多层具有压电效应的材料堆叠而成。

9.根据权利要求1所述的振动屏蔽式电场传感器，其特征在于：所述柔性铰链采用单轴结构。