[实用新型]提高湿式等静压平面靶材压制件平直度的工装

说明书

技术领域

本实用新型属于溅射用平面陶瓷靶材生产技术领域，涉及一种在等静压压制过程中能够有效提高压制品平直度的提高湿式等静压平面靶材压制件平直度的工装。

背景技术

为了保证平面陶瓷靶材达到足够的烧结密度，要求待烧结的制品（生坯）具有尽量高的密度，湿式等静压是当前获得高生坯密度的有效方式。目前的工艺是：将粉料装入固定的橡胶模具，震打拍实后放入湿式等静压中加压，加压完成后将压好的工具取出。由于湿式等静压对粉料的压制属于各向同时压制，粉料在收缩过程中不受限制，往往造成最终压制制品发生起翘和变形，从而造成产品的报废。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺点，本实用新型提供一种能使粉料在压制过程中按照一定方向进行收缩，使压制品平整度好，能提高产品合格率的提高湿式等静压平面靶材压制件平直度的工装。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种提高湿式等静压平面靶材压制件平直度的工装，包括对称安装的上方支撑板和下方支撑板，上方支撑板与下方支撑板的两端分别通过螺杆和螺母紧固连接。

在所述螺杆上套装有弹簧。

在所述上方支撑板与下方支撑板之间安装有装入橡胶模具中的粉料。

本实用新型的有益效果是：将装入橡胶模具中的粉料置于上方支撑板与下方支撑板之间，在等静压过程中的粉料受到弹簧的弹力限制，能够对平面提高压力，粉料收缩沿平行于支撑板方向受到阻碍，使之在等静压过程中不发生起翘和变形，保证了粉料经过压制后的平直度，提高了产品合格率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1-装入橡胶模具中的粉料，2-支撑板，3-弹簧，4-螺杆，5-螺母。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

参见图1，一种提高湿式等静压平面靶材压制件平直度的工装，包括对称安装的上方支撑板2和下方支撑板2，在所述上方支撑板2与下方支撑板2之间安装有装入橡胶模具中的粉料1，上方支撑板2与下方支撑板2的两端分别通过螺杆4和螺母5紧固连接，并在所述螺杆4上套装有弹簧3。本实用新型将装入橡胶模具中的粉料1置于上方支撑板2与下方支撑板2之间，在等静压过程中的粉料受到弹簧3的弹力限制，能够对平面提高压力，粉料收缩沿平行于支撑板2方向受到阻碍，使之在等静压过程中不发生起翘和变形，保证了粉料经过压制后的平直度，提高了产品合格率。