[实用新型]一种超高纯电子级磷酸的生产装置

权利要求书

1.一种超高纯电子级磷酸的生产装置，其特征在于该装置由三氯氧磷储罐(23)、三氯氧磷蒸气发生器(7)、水蒸气发生器(6)、带集液槽(8)的磷酸发生器(1)、脱氯器(2)、磷酸储槽(9)、真空泵(22)、带母液槽(11)的盐酸集液器(3)、盐酸蒸发器(10)、带循环槽(16)的盐酸吸收器(4)、换热器(17)、循环泵(18)、盐酸储槽(13)、尾气引风机(24)、尾气塔(5)以及连接管道组成；其中，三氯氧磷储槽(23)、三氯氧磷蒸气发生器(7)通过管道连接到磷酸发生器(1)中部；水蒸气发生器(6)通过管道分别与磷酸发生器(1)的上部和下部连接；磷酸发生器(1)的集液槽(8)有管道与脱氯器(2)连接，脱氯器(2)又通过管道分别与磷酸储槽(9)及真空泵(22)连接；磷酸发生器(1)顶部有管道与盐酸集液器(3)连接，盐酸集液器(3)的母液槽(11)又通过管道分别与盐酸蒸发器(10)和盐酸吸收器(4)连接；盐酸吸收器(4)的循环槽(16)又有管道依次连接换热器(17)、循环泵(18)并回到盐酸吸收器(4)，盐酸吸收器(4)顶部管道连接尾气引风机(24)进入尾气塔(5)，循环泵(18)出口有分支管道连接盐酸储槽(13)。

2.如权利要求1所述的生产装置，其特征在于所述磷酸发生器(1)的上部和下部有水蒸汽喷嘴(12)、中部有三氯氧磷喷嘴(14)，上部有氟树脂填料环(15)，顶部还有液封(21)。

3.如权利要求1所述的生产装置，其特征在于所述脱氯器(2)内和盐酸蒸发器(10)内各有一蒸汽盘管。

4.如权利要求1所述的生产装置，其特征在于所述盐酸吸收器(4)上部有循环液喷嘴(19)，顶部有冷凝器(20)。

5.如权利要求1所述的生产装置，其特征在于所述真空泵(22)是水环式真空泵；所述换热器(17)为列管式换热器。