[实用新型]真空对位系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种对位系统，尤其涉及一种用于OLED生产中对基片与掩膜板进行对位的真空对位系统。

背景技术

随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。

例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏(有机发光显示屏)与传统的TFT-LCD显示屏(液晶显示屏)并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏的所有设备必须要保证OLED显示屏的精度要求。OLED显示屏是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在ITO玻璃上蒸镀一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方有一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产生光辐射。

为了使其能够全彩色显示装置，发光层应被图案化。通常发光层图案化是利用精细金属掩膜(MASK)贴合在导电玻璃基片上，使蒸发源中的有机材料在基板上沉积为所要求的图案。在整个蒸镀过程中需要一种特殊的夹持装置来抓取基片和掩膜，并需要一个定位压合装置将基片和掩膜贴合在一起。传统的做法是利用机械手分别抓取掩膜板和基片，并将其放置在蒸发源上方的掩膜托板上，再利用机械手进行对位。

这种对位方式简单粗糙，容易使得基片和掩膜板贴合错位，为了解决这一问题，现有的技术人员在用于抓取掩膜板和基片的夹持机构正下方设置一个对位卡座，在基片和掩膜板贴合前，先将玻璃基片输送到对位卡座所在的水平面上，使用水平面上的横向和纵向两个方向的气缸推动基片直至卡在对位卡座上，从而保证基片位于夹持机构的正下方。然而这种通过对位卡座进行简单对位的方式只能保证玻璃基片的输送位置准确，并不能保证掩膜板和基片的对位准确，不能满足现有OLED生产的需要。

因此，急需一种可以对基片和掩膜板进行准确对位的真空对位系统。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可对基片和掩膜板进行准确对位的真空对位系统。

为了实现上有目的，本实用新型公开了一种真空对位系统，用于有机发光显示器生产过程中掩膜板和基片的对位，该真空对位系统包括真空腔室、支撑杆、对位检测装置、驱动装置和控制器，所述真空腔室内安装有承载所述掩膜板的托板以及夹持所述基片的夹持器；所述对位检测装置检测所述掩膜板和基片的对位效果，并将检测到的信息发送到控制器，所述控制器与所述驱动装置相连并控制所述驱动装置动作，所述驱动装置与所述支撑杆的一端相连并驱动所述支撑杆动作，所述支撑杆的另一端密封穿过所述真空腔室后与所述托板固定连接，并带动所述托板做升降、水平、旋转运动。

较佳地，所述对位检测装置包括安装在真空腔室内的对位光源和安装在所述托板下方的电荷耦合元件，所述电荷耦合元件在所述基片的相应位置上形成对位光标，所述掩膜板上开设有与所述对位光标相对应的对位孔。采用CCD(Charge-coupled Device电荷耦合元件)对MASK(掩膜板)和基片的对位效果进行检测，并将检测的信息反馈给控制器，使得掩膜板和基片的对位精确；而所述对位光源的存在给CCD检测提供了相对光亮的环境。

较佳地，所述驱动装置包括升降电机、水平调节平台、旋转调节平台以及丝杆，所述升降电机的驱动轴与所述丝杆相连并控制所述丝杆做旋转升降运动，所述支撑杆远离所述托板的一端穿过所述旋转调节平台和水平调节平台并与所述丝杆的另一端相连，所述水平调节平台内安装有与所述支撑杆相连的水平驱动电机，所述旋转调节平台内安装有与所述支撑杆相连的旋转电机，所述升降电机通过丝杆控制所述支撑杆做升降运动，所述水平调节电机控制所述支撑杆沿水平方向移动，所述旋转电机控制所述支撑杆做旋转运动，所述支撑杆带动所述托板做升降、水平、旋转运动。