[实用新型]一种载片装置的插片辅助工装有效

申请号：	201120092081.4	申请日：	2011-03-31
公开（公告）号：	CN202034360U	公开（公告）日：	2011-11-09
发明（设计）人：	童锐;石东益;王俊	申请（专利权）人：	茂迪（苏州）新能源有限公司
主分类号：	H01L21/68	分类号：	H01L21/68;H01L31/18
代理公司：	上海光华专利事务所 31219	代理人：	李仪萍
地址：	215300 江苏***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种装置辅助工装
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【权利要求书】：

1.一种载片装置的插片辅助工装，所述载片装置包括至少一根具有多个卡槽的卡持柱，其特征在于，所述插片辅助工装包括：底板(10)、位于所述底板(10)上的载片装置固定部件(20)、位于所述底板(10)上的导轨(30)、装配于所述底板(10)上的含有多个沟槽的挡板(40)、以及设置于所述挡板(40)下方与所述导轨(30)配合的移动部件(41)；其中，所述挡板(40)上的沟槽间隙与所述载片装置卡持柱上的卡槽间隙相同。

2.根据权利要求1所述载片装置的插片辅助工装，其特征在于：所述移动部件(41)为由齿轮控制的移动部件。

3.根据权利要求1所述载片装置的插片辅助工装，其特征在于：所述导轨(30)数量为两条。

4.根据权利要求3所述载片装置的插片辅助工装，其特征在于：在两条导轨(30)之间还设有一条辅助导轨(31)。

5.根据权利要求1所述载片装置的插片辅助工装，其特征在于：所述载片装置固定部件(20)为配合所述载片装置的固定槽。

6.根据权利要求1所述载片装置的插片辅助工装，其特征在于：所述底板(10)上还设有定位柱(50)。

7.根据权利要求6所述载片装置的插片辅助工装，其特征在于：所述定位柱(50)的数量为四个。

8.根据权利要求1所述载片装置的插片辅助工装，其特征在于：所述底板(10)上还设有与所述挡板(40)位置相对的提手(60)。

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