[实用新型]用于真空溅镀的传动装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种传动装置，尤其涉及一种用于真空溅镀的传动装置。

背景技术：

真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的一项重要技术，近年来已经逐渐取代喷导漆和电解电镀的方式，大量应用在光电，通信，半导体等产业，成为重要的表面处理技术。

一般在使用连续式传输的真空溅镀装置，是将基材整齐固定排放在标准化的承载盘上，由传动机构带动，将承载盘平顺的输送到各个腔室进行溅镀。目前在真空溅镀装置中的传动机构是使用皮带传输，但是，在真空溅镀装置腔体局部的高温环境中，温度高达200度左右时，容易造成皮带的损耗。此外，皮带的长度有规格的限制，相关机构的位置必须按照皮带的长度规格设计，因此在设计上就受制于皮带长度规格，造成机构设计上的不方便。

实用新型内容：

本实用新型的目的是提供一种用于真空溅镀的传动装置，它通过设置螺旋齿轮来取代皮带，从而使机构设计的选择更为自由，而且提高了机器的使用寿命。

为了解决背景技术所存在的问题，本实用新型是采用以下技术方案：它包含主体、轴孔、导轮、轴杆、第一螺旋齿轮、止推固定座、传动心轴和第二螺旋齿轮，主体上设置有多个轴孔，轴孔内设置有贯穿主体的轴杆，多个导轮分别套接在各轴杆的一端，第一螺旋齿轮套接在轴杆的另一端，止推固定座通过止推轴和滚动轴承设置在第一螺旋齿轮之间，并与第一螺旋齿轮在同一平面内，传动心轴穿设在止推固定座之间，第二螺旋齿轮设置在传动心轴上，并与第一螺旋齿轮相啮合。

所述的传动心轴上设置有多个束紧块，束紧块保持止推轴承、滚动轴承及第二螺旋齿轮不受侧向力影响。

本实用新型中的止推固定座用以承受该传动心轴旋转时产生的侧向推移力量，使该止推固定座可将该传动心轴限定于原位旋转。本传动装置的动力源是马达，并以一连轴器连接于该传动心轴或第一螺旋齿轮，以提供动力驱动该传动装置；第一螺旋齿轮是采用具有耐高温，抗磨损特性的高分子聚合物作为其材质；第二螺旋齿轮的材质是具有耐热以及高强度特性的合成金属，所以它们适合于真空溅镀的高温环境以及传动过程中高时数的连续运转。

本实用新型是以螺旋齿轮取代了皮带并改善以皮带作为传动机构所导致的缺点，因此，真空溅镀制程传动装置的使用寿命延长，溅镀品质得到改善，生产效率也随之提升。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为实施例一的结构示意图；

图3为实施例二的结构示意图。

具体实施方式：

参照图1，本具体实施方式采用以下技术方案：它包含主体11、轴孔111、导轮12、轴杆13、第一螺旋齿轮14、止推固定座15、传动心轴16和第二螺旋齿轮17，主体11上设置有多个轴孔111，轴孔111内设置有贯穿主体11的轴杆13，多个导轮12分别套接在各轴杆13的一端，第一螺旋齿轮14套接在轴杆13的另一端，止推固定座15通过止推轴和滚动轴承设置在第一螺旋齿轮14之间，并与第一螺旋齿轮14在同一平面内，传动心轴16穿设在止推固定座15之间，第二螺旋齿轮17设置在传动心轴16上，并与第一螺旋齿轮14相啮合。

所述的传动心轴16上设置有多个束紧块18，束紧块18保持止推轴承、滚动轴承及第二螺旋齿轮17不受侧向力影响。

本具体实施方式中的止推固定座15用以承受该传动心轴16旋转时产生的侧向推移力量，使止推固定座15可将该传动心轴16限定于原位旋转。本传动装置的动力源是马达，并以一连轴器3连接于该传动心轴16或第一螺旋齿轮14，以提供动力驱动该传动装置1；第一螺旋齿轮14是采用具有耐高温，抗磨损特性的高分子聚合物作为其材质；第二螺旋齿轮17的材质是具有耐热以及高强度特性的合成金属，所以它们适合于真空溅镀的高温环境以及传动过程中高时数的连续运转。

本具体实施方式是以螺旋齿轮取代了皮带并改善以皮带作为传动机构所导致的缺点，因此，真空溅镀制程传动装置的使用寿命延长，溅镀品质得到改善，生产效率也随之提升。