[实用新型]用于真空溅镀的传动装置无效
| 申请号： | 201120092032.0 | 申请日： | 2011-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN202054891U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 刘辛 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 真空 传动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.用于真空溅镀的传动装置，其特征在于它包含主体(11)、轴孔(111)、导轮(12)、轴杆(13)、第一螺旋齿轮(14)、止推固定座(15)、传动心轴(16)和第二螺旋齿轮(17)，主体(11)上设置有多个轴孔(111)，轴孔(111)内设置有贯穿主体(11)的轴杆(13)，多个导轮(12)分别套接在各轴杆(13)的一端，第一螺旋齿轮(14)套接在轴杆(13)的另一端，止推固定座(15)通过止推轴和滚动轴承设置在第一螺旋齿轮(14)之间，并与第一螺旋齿轮(14)在同一平面内，传动心轴(16)穿设在止推固定座(15)之间，第二螺旋齿轮(17)设置在传动心轴(16)上，并与第一螺旋齿轮(14)相啮合。
2.根据权利要求1所述的用于真空溅镀的传动装置，其特征在于所述的传动心轴(16)上设置有多个束紧块(18)。
3.根据权利要求1所述的用于真空溅镀的传动装置，其特征在于所述的第一螺旋齿轮(14)通过联轴器(3)与马达(2)相连。
4.根据权利要求1所述的用于真空溅镀的传动装置，其特征在于所述的传动心轴(16)通过联轴器(3)与马达(2)相连。
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