[实用新型]大尺寸蓝宝石单晶生长炉用上隔热屏

权利要求书

1.一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉用上隔热屏，它包括固定支撑结构部分和保温隔热结构部分两部分，其特征在于固定支撑结构部分为单层圆形不锈钢板，保温隔热结构部分包括至少两层圆形钼片，圆形钼片上开有圆形中心孔和矩形观察孔，单层圆形不锈钢板与圆形钼片间采用钼螺栓和配套钼螺母连接并固定，圆形钼片间通过钼垫片隔开。

2.根据权利要求1所述的大尺寸蓝宝石单晶生长炉用上隔热屏，其特征在于所述的单层圆形不锈钢板厚度5~20mm，外径400~600mm，内径180~280mm，沿单层圆形不锈钢板上直径为200~300mm圆周上分布有4~10个钼螺栓，螺栓直径4~6mm，长度为150~400mm，钼螺栓和配套钼螺母将单层圆形不锈钢板和圆形钼片连接在一起。

3.根据权利要求2所述的大尺寸蓝宝石单晶生长炉用上隔热屏，其特征在于所述的圆形钼片为金属钼，钼片层数为10~30片，外径为300~500mm，最上层2~5片和最下层2~5片厚度为2~4mm，中间层钼片厚度为1~2mm，圆形钼片间通过套在钼螺栓上厚度为12~18mm的钼垫片隔开。

4.根据权利要求3所述的大尺寸蓝宝石单晶生长炉用上隔热屏，其特征在于所述的圆形钼片上开有圆形中心孔和2个矩形观察孔，最上层钼片圆形中心孔直径30-100mm，从上到下每层钼片中心孔直径比上一层大1-5mm，2个矩形观察孔互相成90°夹角，位于圆形中心孔边缘，最上层矩形观察孔长度50-150mm，宽度30-60mm，从上到下每层钼片矩形观察孔长度和宽度分别比上一层大1-5mm。