[实用新型]石墨舟导流结构有效
申请号: | 201120072531.3 | 申请日: | 2011-03-18 |
公开(公告)号: | CN202025786U | 公开(公告)日: | 2011-11-02 |
发明(设计)人: | 冯银辉 | 申请(专利权)人: | 石金精密科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 导流 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种石墨舟技术领域,尤其涉及一种石墨舟导流结构。
背景技术
石墨舟是给太阳能硅片镀膜的载体,使用一定次数后石墨舟表面上会被镀上一层氮化硅,这时需要采用适当浓度的氢氟酸来清洗石墨舟,氢氟酸清洗完之后再用清水清洗。
由于氢氟酸具有腐蚀性,而现有的石墨舟结构中,没有采取很好的排水措施,使得陶瓷杆与陶瓷套之间,陶瓷套与石墨舟片,石墨舟片与陶瓷杆之间的氢氟酸不能够及时的排出,加速了陶瓷杆与陶瓷套等陶瓷配件的腐蚀速度,降低了陶瓷配件的使用寿命,同时也降低了硅片镀膜后的转换效率。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种石墨舟导流结构,旨在减少石墨舟清洗时氢氟酸对陶瓷配件的腐蚀速度。
为了达到上述目的,本实用新型提出一种石墨舟导流结构,包括舟片、陶瓷杆,陶瓷杆上套有陶瓷套,所述舟片上设有供陶瓷杆穿套的定位孔,所述舟片上,在定位孔沿石墨舟底座方向的一侧设有与该定位孔连通的第一导流槽,和/或在所述陶瓷套上开有第一导流孔或第二导流槽,用于将清洗石墨舟的氢氟酸和清水引流导出。
优选地,所述第一导流槽至少为方形或圆形或U形。
优选地,所述第一导流槽在与所述定位孔连接的一端相对的另一端设有穿透所述舟片的第二导流孔。
优选地,所述舟片包括通过所述陶瓷杆穿套定位的外片、上电极片、下电极片以及中间片。
优选地,所述外片、上电极片、下电极片以及中间片上均设置有所述第一导流槽。
优选地,所述外片、上电极片、下电极片以及中间片中至少之一设置有所述第一导流槽。
优选地,所述第一导流孔设置在所述陶瓷套的中部。
优选地,所述第二导流槽设置在所述陶瓷套的上边缘。
本实用新型提出的一种石墨舟导流结构,通过在石墨舟的外片、上电极片、下电极片以及中间片等舟片上对应的定位孔旁侧,设置导流槽,和/或在陶瓷套上开有第一导流孔或第二导流槽,在清洗石墨舟时,陶瓷杆与陶瓷套之间,陶瓷套与石墨舟片,石墨舟片与陶瓷杆之间的氢氟酸和清水能够通过导流槽或导流孔及时的排出,同时也缩短了石墨舟的烘干时间,从而减少了氢氟酸对陶瓷配件的腐蚀速度,延长石墨舟及其配件的使用寿命,进一步减少石墨舟配件的更换频率,降低成本,同时也提高了硅片镀膜后的转换效率。
附图说明
图1是应用本实用新型石墨舟导流结构的舟片结构示意图;
图2是本实用新型石墨舟导流结构一实施例的放大示意图;
图3是本实用新型石墨舟导流结构另一实施例的放大示意图;
图4是本实用新型石墨舟导流结构又一实施例的放大示意图;
图5是本实用新型石墨舟导流结构再一实施例的放大示意图。
为了使本实用新型的技术方案更加清楚、明了,下面将结合附图作进一步详述。
具体实施方式
本实用新型技术方案总体思路是:通过在石墨舟的外片、上电极片、下电极片以及中间片等舟片上对应的定位孔旁侧,设置导流槽,和/或在陶瓷套上开有第一导流孔或第二导流槽,通过导流槽和/或导流孔,有利于清洗石墨舟时,陶瓷杆与陶瓷套之间,陶瓷套与石墨舟片,石墨舟片与陶瓷杆之间的氢氟酸和清水及时的排出,以减少了氢氟酸对陶瓷配件的腐蚀速度。
以下将结合附图及实施例,对实现发明目的的技术方案作详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
请参照图1及图2,本实用新型一实施例提出一种石墨舟导流结构,包括舟片101、陶瓷杆(图中未示出),陶瓷杆上套有陶瓷套,舟片101上设有供石墨舟陶瓷杆穿套的定位孔102,舟片101在定位孔102沿石墨舟底座方向的一侧,即垂直向下的方向的一侧设有与该定位孔102连通的第一导流槽103。
本实施例中石墨舟通常包括舟片101、连接并定位舟片101的陶瓷杆,陶瓷杆上设有固定舟片101的陶瓷套,其中舟片101通常包括外片、上电极片、下电极片以及中间片,各舟片101上设有供陶瓷杆穿套的定位孔102。
在使用氢氟酸和清水对石墨舟进行清洗时,氢氟酸和清水会在陶瓷杆与陶瓷套之间、陶瓷套与舟片101、舟片101与陶瓷杆之间滞留,会增加氢氟酸对陶瓷杆和陶瓷套等陶瓷配件的腐蚀速度。
本实施例通过第一导流槽103,可以将陶瓷杆与陶瓷套之间,陶瓷套与舟片101,舟片101与陶瓷杆之间的氢氟酸和清水及时的引流导出,从而减少了氢氟酸对陶瓷杆和陶瓷套等陶瓷配件的腐蚀速度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的