[实用新型]石墨舟导流结构有效
申请号: | 201120072531.3 | 申请日: | 2011-03-18 |
公开(公告)号: | CN202025786U | 公开(公告)日: | 2011-11-02 |
发明(设计)人: | 冯银辉 | 申请(专利权)人: | 石金精密科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 导流 结构 | ||
1.一种石墨舟导流结构,包括舟片、陶瓷杆,陶瓷杆上套有陶瓷套,所述舟片上设有供陶瓷杆穿套的定位孔,其特征在于,所述舟片上,在定位孔沿石墨舟底座方向的一侧设有与该定位孔连通的第一导流槽,和/或在所述陶瓷套上开有第一导流孔或第二导流槽,用于将清洗石墨舟的氢氟酸和清水引流导出。
2.根据权利要求1所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述第一导流槽至少为方形或圆形或U形。
3.根据权利要求1所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述第一导流槽在与所述定位孔连接的一端相对的另一端设有穿透所述舟片的第二导流孔。
4.根据权利要求1、2或3所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述舟片包括通过所述陶瓷杆穿套定位的外片、上电极片、下电极片以及中间片。
5.根据权利要求4所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述外片、上电极片、下电极片以及中间片上均设置有所述第一导流槽。
6.根据权利要求4所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述外片、上电极片、下电极片以及中间片中至少之一设置有所述第一导流槽。
7.根据权利要求6所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述第一导流孔设置在所述陶瓷套的中部。
8.根据权利要求6所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述第二导流槽设置在所述陶瓷套的上边缘。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的