[实用新型]石墨舟导流结构有效

专利信息
申请号: 201120072531.3 申请日: 2011-03-18
公开(公告)号: CN202025786U 公开(公告)日: 2011-11-02
发明(设计)人: 冯银辉 申请(专利权)人: 石金精密科技(深圳)有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 胡海国
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 石墨 导流 结构
【权利要求书】:

1.一种石墨舟导流结构,包括舟片、陶瓷杆,陶瓷杆上套有陶瓷套,所述舟片上设有供陶瓷杆穿套的定位孔,其特征在于,所述舟片上,在定位孔沿石墨舟底座方向的一侧设有与该定位孔连通的第一导流槽,和/或在所述陶瓷套上开有第一导流孔或第二导流槽,用于将清洗石墨舟的氢氟酸和清水引流导出。

2.根据权利要求1所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述第一导流槽至少为方形或圆形或U形。

3.根据权利要求1所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述第一导流槽在与所述定位孔连接的一端相对的另一端设有穿透所述舟片的第二导流孔。

4.根据权利要求1、2或3所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述舟片包括通过所述陶瓷杆穿套定位的外片、上电极片、下电极片以及中间片。

5.根据权利要求4所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述外片、上电极片、下电极片以及中间片上均设置有所述第一导流槽。

6.根据权利要求4所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述外片、上电极片、下电极片以及中间片中至少之一设置有所述第一导流槽。

7.根据权利要求6所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述第一导流孔设置在所述陶瓷套的中部。

8.根据权利要求6所述的石墨舟导流结构,其特征在于,所述第二导流槽设置在所述陶瓷套的上边缘。

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