[实用新型]直立式基板湿制程浸泡装置有效
申请号: | 201120057062.8 | 申请日: | 2011-03-07 |
公开(公告)号: | CN202067777U | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
发明(设计)人: | 黄世达;钟添达 | 申请(专利权)人: | 扬博科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/311;C03C15/00;H05K3/00 |
代理公司: | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人: | 葛强;张一军 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 立式 基板湿制程 浸泡 装置 | ||
1.一种直立式基板湿制程浸泡装置,其特征在于,包括一主箱体、一输送轮组以及二喷流组件,其中:
主箱体的两相对侧分别形成一入口及一出口,该主箱体的中段处设有一加工槽,该加工槽底侧设有一与该加工槽相连通的集液槽,另于该主箱体上设有二承架,该承架横向架设于该主箱体的入口与出口之间,且分别位于靠近该主箱体的顶部及底部处;
输送轮组架设于该主箱体的二承架上,该输送轮组包括复数个传动轮轴以及复数个调整轮轴,该传动轮轴与调整轮轴可转动地垂直架设于该二承架之间,且间隔排列设置于该主箱体的入口与出口间,传动轮轴与调整轮轴的两端分别穿设于该二承架,且每一调整轮轴对应一传动轮轴;以及
喷流组件设于该主箱体的加工槽中,且分别位于该传动轮轴与调整轮轴的两侧,每一喷流组件包含一外侧板、一内侧板与二挡水板,该外侧板与内侧板间隔设置,该外侧板与内侧板之间在周缘处形成封闭并相互结合,二者之间形成一分流空间,又,该外侧板上设有至少一输液管,该输液管的一端与该分流空间相连通,另一端经由一汲液装置与该集液槽相连通,该内侧板面对该传动轮轴与调整轮轴,该内侧板上密布有复数个喷流孔,该挡水板具弹性,其分别沿纵向固设于该相结合之外、内侧板的两侧,且分别贴靠于相对应的传动轮轴与调整轮轴上。
2.如权利要求1所述的直立式基板湿制程浸泡装置,其特征在于,前述输送轮组进一步包括一驱动轴,该驱动轴可转动地横向架设于该主箱体的入口与出口之间,且位于其中一承架的旁侧,该驱动轴上间隔设有复数个蜗杆部,该驱动轴的一端连接一马达,该马达可带动该驱动轴转动,前述每一传动轮轴上靠近端部处套设有一输入齿轮与一输出齿轮,各传动轮轴的输入齿轮分别对应并与该驱动轴的蜗杆部啮合相接,前述每一调整轮轴上靠近端部处设有一传动齿轮,各调整轮轴的传动齿轮分别对应并与该传动轮轴的输出齿轮啮合相接。
3.如权利要求1所述的直立式基板湿制程浸泡装置,其特征在于:
前述每一承架上间隔穿设有复数个滑移槽,该滑移槽贯穿该承架的一侧边而形成有一开口,每一滑移槽的长轴延伸方向与该主箱体的入口与出口的连线方向垂直;
前述输送轮组进一步包括复数个滑移块,该滑移块可移动但不可转动地分别设置于该二承架的滑移槽间,且位于靠该滑移槽的开口端的一侧,前述传动轮轴的两端分别枢设于该承架上且位于相对应的滑移槽中,前述调整轮轴的两端分别枢设于该滑移块;
该直立式基板湿制程浸泡装置进一步包括二弹性推顶组件,该弹性推顶组件分别设于该承架的旁侧,每一弹性推顶组件包含至少一挡块、复数固定杆与复数推移杆,该挡块设于该承架的一侧,且对应该滑移槽的开口,该固定杆的两端分别与该挡块及承架相互固接,该推移杆的两端分别与该挡块及滑移块相互固接,每一推移杆上套设有一弹簧,弹簧的两端分别抵顶于该挡块以及该滑移块。
4.如权利要求2所述的直立式基板湿制程浸泡装置,其特征在于:
前述每一承架上间隔穿设有复数个滑移槽,该滑移槽贯穿该承架的一侧边而形成有一开口,每一滑移槽的长轴延伸方向与该主箱体的入口与出口的连线方向垂直;
前述输送轮组进一步包括复数个滑移块,该滑移块可移动但不可转动地分别设置于该二承架的滑移槽间,且位于靠该滑移槽的开口端的一侧,前述传动轮轴的两端分别枢设于该承架上且位于相对应的滑移槽中,前述调整轮轴的两端分别枢设于该滑移块;
该直立式基板湿制程浸泡装置进一步包括二弹性推顶组件,该弹性推顶组件分别设于该承架的旁侧,每一弹性推顶组件包含至少一挡块、复数固定杆与复数推移杆,该挡块设于该承架的一侧,且对应该滑移槽的开口,该固定杆的两端分别与该挡块及承架相互固接,该推移杆的两端分别与该挡块及滑移块相互固接,每一推移杆上套设有一弹簧,弹簧的两端分别抵顶于该挡块以及该滑移块。
5.如权利要求1至4任一所述的直立式基板湿制程浸泡装置,其特征在于,前述输送轮组进一步包括复数个输送轮,该输送轮可转动地间隔设置于靠近主箱体底部的承架上,并突伸至该传动轮轴与调整轮轴之间,该输送轮的轴向与该主箱体的入口与出口的连线方向以及该传动轮轴的轴向均呈相互垂直。
6.如权利要求5所述的直立式基板湿制程浸泡装置,其特征在于,前述输送轮组的每一输送轮上环绕成型有一限位槽。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造