[实用新型]太阳能硅片烧结用卸料机械手

权利要求书

1.一种太阳能硅片烧结用卸料机械手，包括可作空间运动的机械手臂(1)，其特征在于：所述机械手臂(1)的下端连接有一真空吸盘(2)，所述真空吸盘(2)通过管道(3)与真空泵连接，所述真空吸盘(2)能在硅片(6)的上方将硅片(6)吸起进行运送。

2.根据权利要求1所述的太阳能硅片烧结用卸料机械手，其特征在于：所述真空吸盘(2)的工作盘(21)直径为所述硅片(6)宽度的2/5～4/5。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能硅片烧结用卸料机械手，其特征在于：所述真空吸盘(2)通过螺栓(5)吊装在安装支架(4)上，该安装支架(4)与所述机械手臂(1)下部的气缸(11)连接。

4.根据权利要求3所述的太阳能硅片烧结用卸料机械手，其特征在于：所述安装支架(4)为轮辐状，在安装支架(4)的辐板(41)上设有减重孔(42)，所述螺栓(5)位于辐板(41)的端部。