[实用新型]一种多晶硅晶体生长炉加热装置无效
| 申请号： | 201120023124.3 | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN202030861U | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 张帆;张元成;丁红波;管宇骎;葛江文;管文礼 | 申请（专利权）人： | 管文礼 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 刘喜莲 |
| 地址： | 222000 江苏省连云港*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 晶体生长 加热 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅晶体生长炉加热装置，其特征在于：它包括由顶部加热器和侧部加热器，所述的顶部加热器设在晶体生长炉坩埚的顶部，顶部加热器连接顶部加热器电极，所述的侧部加热器设在坩埚的四周，侧部加热器连接侧部加热器电极，所述的顶部加热电极和侧部加热电极分别与变压器和控制器相连接。
2.根据权利要求1所述的多晶硅晶体生长炉加热装置，其特征在于：所述的侧部加热器通过连接器固定连接，所述的侧部加热电极连接在连接器上。
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