[实用新型]集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种洁净室专用辅助清洁装置，具体属于一种集成电路生产线扫除真空系统用的自动前置处理装置。 

背景技术

在集成电路的生产过程中，许多生产设备(尤其是CVD设备及其除害装置)会产生大量粉末生成物，在机台维护保养和风管清扫中通常使用扫除真空系统将粉尘吸除，但是较大的生成物颗粒往往会引起管道堵塞。如图1所示，单纯在扫除真空系统入口端增设过滤器1需要手工利用螺丝刀柄或锤子将大块颗粒敲碎后再吸除，效率不高且产生的粉尘会影响洁净度，还增加了维护保养需要的时间，造成机台的利用率降低。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置，在需要时能够自动将较大颗粒生成物磨碎排入扫除真空系统，防止扫除真空管道堵塞和粉尘影响洁净生产厂房的环境。 

为解决上述技术问题，本实用新型的集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置包括封闭的腔体、设于腔体内的磨碎盘、位于腔体外的驱动电机、连接磨碎盘和驱动电机的传动机构、控制电路；所述腔体一侧设有入口管，另一侧设有连接到扫除真空系统上的出口管，入口管和出口管之间设有压差开关，腔体的底部设有下限位开关，上部设有上限位开关； 所述压差开关、上限位开关、下限位开关和驱动电机连接到控制电路，控制电路控制驱动电机正、反转带动磨碎盘在腔体内上、下运动。 

在上述结构中，腔体包括筒体和顶盖，顶盖通过螺钉固定在筒体上，入口管和出口管设于筒体上，出口管靠近筒体一侧装有出口过滤器，磨碎盘呈圆盘状。所述传动机构包括固定安装在驱动电机输出轴上的齿轮盘、驱动螺杆、与驱动螺杆相互啮合的传动螺杆，所述驱动螺杆上装有与齿轮盘啮合的齿轮，所述传动螺杆的顶部固定连接在磨碎盘的底部。 

其中，控制电路包括电机正转继电器和电机反转继电器；所述压差开关的常开触点与电机正转继电器的常开触点并联后与上限位开关的常闭触点、电机正转继电器的线圈串联为第一支路；所述上限位开关的常开触点与电机反转继电器的常开触点并联后与下限位开关的常闭触点、电机反转继电器的线圈串联为第二支路。 

优选的，所述控制电路还包括电机正转定时器、电机反转定时器、报警继电器、复位按钮、报警指示灯和/或蜂鸣器；所述压差开关的常开触点与电机正转继电器的常开触点并联后与电机反转继电器的常闭触点、上限位开关的常闭触点、电机正转定时器的常闭触点串联，再串联上相互并联的电机正转继电器的线圈、电机正转定时器的线圈构成第一支路；所述上限位开关的常开触点、电机反转继电器的常开触点、复位按钮的常开触点并联后与电机正转继电器的常闭触点、下限位开关的常闭触点、电机反转定时器的常闭触点串联，再串联上相互并联的电机反转继电器的线圈、电机反转定时器的线圈构成第二支路；所述电机正转定时器的常开触点、电 机反转定时器的常开触点、电机过载开关的常开触点并联后与报警继电器的线圈串联构成第三支路；所述报警指示灯和/或蜂鸣器与报警继电器的常开触点串联构成第四支路。 

本实用新型在集成电路生产线用扫除真空系统的管道前增加自动前置处理装置，该装置在较大颗粒物堵塞出口管引起出入口管压差超过预定值时可以自动将较大的生成物颗粒磨碎后再排入扫除真空系统，避免了大颗粒生成物堵塞扫除真空管，以及粉尘影响洁净生产厂房的环境，提高了扫除真空设备的使用效率，缩短了机台维护保养的时间，从而提高了经济效益。 

附图说明

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明： 

图1是已知的扫除真空系统结构示意图； 

图2是本实用新型的自动前置处理装置未启动的结构示意图； 

图3是本实用新型中出口过滤器的结构示意图； 

图4是本实用新型中磨碎盘的俯视图； 

图5是本实用新型的自动前置处理装置启动的结构示意图； 

图6是本实用新型的控制电路图。 

其中附图标记说明如下： 

1为过滤器；2为腔体；21为筒体；22为顶盖；3为磨碎盘；4为驱动电机；5为入口管；6为出口管；10为齿轮盘；11为齿轮；12为驱动螺杆；13为传动螺杆；14为出口过滤器；15为观察窗； 

X1为压差开关；X2为上限位开关；X3为下限位开关；X4为电机过载开关；RST为复位按钮；KM1为电机正转继电器；KM2为电机反转继电器；A1为报警继电器；T1为电机正转定时器；T2为电机反转定时器；RL为报警指示灯；BZ为蜂鸣器。 

具体实施方式