[实用新型]集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置

权利要求书

1.一种集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置，其特征在于：包括封闭的腔体、设于腔体内的磨碎盘、位于腔体外的驱动电机、连接磨碎盘和驱动电机的传动机构、控制电路；所述腔体一侧设有入口管，另一侧设有连接到扫除真空系统上的出口管，入口管和出口管之间设有压差开关，腔体的底部设有下限位开关，上部设有上限位开关；所述压差开关、上限位开关、下限位开关和驱动电机连接到控制电路，控制电路控制驱动电机正、反转带动磨碎盘在腔体内上、下运动。

2.根据权利要求1所述的集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置，其特征在于：所述腔体包括筒体和顶盖，顶盖通过螺钉固定在筒体上，所述入口管和出口管设于筒体上，出口管位于筒体内的一侧装有出口过滤器，所述磨碎盘呈圆盘状。

3.根据权利要求1所述的集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置，其特征在于：所述控制电路包括电机正转继电器和电机反转继电器；

所述压差开关的常开触点与电机正转继电器的常开触点并联后与上限位开关的常闭触点、电机正转继电器的线圈串联为第一支路；

所述上限位开关的常开触点与电机反转继电器的常开触点并联后与下限位开关的常闭触点、电机反转继电器的线圈串联为第二支路。

4.根据权利要求3所述的集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置，其特征在于：所述控制电路还包括电机正转定时器、电机反转定时器、报警继电器、复位按钮、报警指示灯和/或蜂鸣器；

所述压差开关的常开触点与电机正转继电器的常开触点并联后与电机反转继电器的常闭触点、上限位开关的常闭触点、电机正转定时器的常闭触点串联，再串联上相互并联的电机正转继电器的线圈、电机正转定时器的线圈构成第一支路；

所述上限位开关的常开触点、电机反转继电器的常开触点、复位按钮的常开触点并联后与电机正转继电器的常闭触点、下限位开关的常闭触点、电机反转定时器的常闭触点串联，再串联上相互并联的电机反转继电器的线圈、电机反转定时器的线圈构成第二支路；

所述电机正转定时器的常开触点、电机反转定时器的常开触点、电机过载开关的常开触点并联后与报警继电器的线圈串联构成第三支路；

所述报警指示灯和/或蜂鸣器与报警继电器的常开触点串联构成第四支路。

5.根据权利要求1至4中任何一项所述的集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置，其特征在于：所述传动机构包括固定安装在驱动电机输出轴上的齿轮盘、驱动螺杆、与驱动螺杆相互啮合的传动螺杆，所述驱动螺杆上装有与齿轮盘啮合的齿轮，所述传动螺杆的顶部固定连接在磨碎盘的底部。

6.根据权利要求4所述的集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置，其特征在于：所述报警指示灯与蜂鸣器并联。

7.根据权利要求1或2所述的集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置，其特征在于：所述磨碎盘上表面设有多个突起物。

8.根据权利要求2所述的集成电路生产线扫除真空系统的自动前置处理装置，其特征在于：所述筒体上设有透明的观察窗。