[发明专利]升降抖动装置有效
申请号: | 201110459871.6 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN102553854A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 王振荣;刘红兵;黄利松 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/306;H05K3/26 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 升降 抖动 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种升降抖动装置。
背景技术
晶圆、引线框架或者PCB板生产过程中需要蚀刻、清洗。蚀刻过程中容易产生材料粉末,蚀刻过程如无法及时去除粉末,则会影响蚀刻的质量。蚀刻完成后,如果粉末粘附在产品上,会影响产品的质量,因此需要去除粉末。去除粉末的一种方法是清洗,利用水冲洗产品,将粉末去除。但在用水清洗过程中,粉末有可能粘附力比较大而难以去除。清洗完成后,产品表面会粘附大量的水滴,影响了产品的干燥时间。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种有助于去除产品表面的水滴的升降抖动装置。
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案实现:
升降抖动装置,其特征在于,包括挂篮支架;抖动驱动装置,抖动驱动装置与挂篮支架传动连接;抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动;提升驱动装置,提升驱动装置与挂篮支架传动连接,提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。
优选地是,所述的抖动驱动装置为第一电机,第一电机的输出轴上设置有偏心装置,偏心装置与挂篮支架连接;驱动装置驱动偏心装置转动;偏心装置驱动挂篮支架上下往复运动。
优选地是,所述偏心装置包括圆形的驱动转盘和从动转盘;所述从动转盘安装于驱动转盘的非圆心位置。
优选地是,所述的挂篮支架包括抖动基板,抖动基板搭靠在从动转盘上。
优选地是,所述从动转盘为圆形,且可转动地安装在驱动转盘上。
优选地是,提升驱动装置通过传动装置与挂篮传动连接;传动装置包括推杆,提升驱动装置驱动推杆上下运动。
优选地是,所述的挂篮包括抖动基板,抖动基板设置于推杆向上移动的路线上;抖动基板上安装有限位装置;所述限位装置与抖动基板之间具有容纳从动圆盘的间隙,将从动圆盘限制于限位装置与抖动基板之间;所述限位装置可转动地设置;限位装置设置于推杆向上移动的路线上,推杆向上移动时推动限位装置旋转,并且在限位装置旋转后脱离对从动圆盘的限制。
优选地是,所述的限位装置为Z形架。
优选地是,所述Z字形架包括依次连接的第一板、第二板和第三板;第一板与第二板之间的夹具α小于90°;第二板与第三板之间的夹角β大于等于90°;第一板位于推杆向上移动的路线上;第一板可转动地设置。
优选地是,所述提升驱动装置通过齿轮换向器与推杆传动连接;提升驱动装置通过齿轮换向器驱动推杆上下移动。
优选地是,还包括固定基板,所述提升驱动装置和抖动驱动装置安装于固定基板上。
优选地是,还包括导向杆;挂篮支架设置有抖动基板,导向杆穿过抖动基板;抖动基板可沿导向杆滑动。
优选地是,所述抖动驱动装置为第一电机。
优选地是,所述提升驱动装置为第二电机。
本发明中的升降抖动装置,既可以使支架上下抖动,蚀刻时,使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末,提高蚀刻质量;清洗时抖动,可提高清洗效果,且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。本发明中的升降抖动装置还可以自动实现使产品上升或下降,自动将产品放入蚀刻液或清洗水中,处理完成后自动将产品提升出液面。提升与抖动功能可相互配合,使用方便。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
图2为本发明侧视图。
图3为本发明半剖立体图。
图4为图3的侧视图。
图5为本发明抖动驱动和提升驱动结构示意图。
图6为Z字形架结构示意图。
图7为本发明中的Z字形架工作原理结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行详细的描述:
如图1、图2、图3、图4及图5所示,升降抖动装置,包括固定基板1。固定基板1上表面安装有第一电机2,下表面安装有第二电机3。第一电机2的输出轴21上安装有驱动转盘22。驱动转盘22上安装有可转动的从动转盘23。从动转盘23通过转轴231可转动地安装在驱动转盘22的非圆心位置上。从动转盘23既可以绕转轴231转动,也可以随驱动转盘23绕输出轴21转动。固定基板1上设置有两根间隔设置的第一导向杆11和第二导向杆12。
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