[发明专利]升降抖动装置有效

专利信息
申请号: 201110459871.6 申请日: 2011-12-31
公开(公告)号: CN102553854A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 王振荣;刘红兵;黄利松 申请(专利权)人: 上海新阳半导体材料股份有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04;B08B13/00;H01L21/306;H05K3/26
代理公司: 上海脱颖律师事务所 31259 代理人: 李强
地址: 201616 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 升降 抖动 装置
【权利要求书】:

1.升降抖动装置,其特征在于,包括:

挂篮支架;

抖动驱动装置,抖动驱动装置与挂篮支架传动连接;抖动驱动装置驱动挂篮

支架上下往复运动;

提升驱动装置,提升驱动装置与挂篮支架传动连接,提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。

2.根据权利要求1所述的升降抖动装置,其特征在于,所述的抖动驱动装置为第一电机,第一电机的输出轴上设置有偏心装置,偏心装置与挂篮支架连接;

驱动装置驱动偏心装置转动;偏心装置驱动挂篮支架上下往复运动。

3.根据权利要求2所述的升降抖动装置,其特征在于,所述偏心装置包括圆形的驱动转盘和从动转盘;所述从动转盘安装于驱动转盘的非圆心位置。

4.根据权利要求3所述的升降抖动装置,其特征在于,所述的挂篮支架包括抖动基板,抖动基板搭靠在从动转盘上。

5.根据权利要求4所述的升降抖动装置,其特征在于,所述从动转盘为圆形,且可转动地安装在驱动转盘上。

6.根据权利要求1所述的升降抖动装置,其特征在于,提升驱动装置通过传动装置与挂篮传动连接;传动装置包括推杆,提升驱动装置驱动推杆上下运动。

7.根据权利要求6所述的升降抖动装置,其特征在于,所述的挂篮包括抖动基板,抖动基板设置于推杆向上移动的路线上;抖动基板上安装有限位装置;

所述限位装置与抖动基板之间具有容纳从动圆盘的间隙,将从动圆盘限制于限位装置与抖动基板之间;所述限位装置可转动地设置;限位装置设置于推杆向上移动的路线上,推杆向上移动时推动限位装置旋转,并且在限位装置旋转后脱离对从动圆盘的限制。

8.根据权利要求7所述的升降抖动装置,其特征在于,所述的限位装置为Z形架。

9.根据权利要求8所述的升降抖动装置,其特征在于,所述Z字形架包括依次连接的第一板、第二板和第三板;第一板与第二板之间的夹具α小于90°;第二板与第三板之间的夹角β大于等于90°;第一板位于推杆向上移动的路线上;第一板可转动地设置。

10.根据权利要求6所述的升降抖动装置,其特征在于,所述提升驱动装置通过齿轮换向器与推杆传动连接;提升驱动装置通过齿轮换向器驱动推杆上下移动。

11.根据权利要求1所述的升降抖动装置,其特征在于,还包括固定基板,所述提升驱动装置和抖动驱动装置安装于固定基板上。

12.根据权利要求11所述的升降抖动装置,其特征在于,还包括导向杆;挂篮支架设置有抖动基板,导向杆穿过抖动基板;抖动基板可沿导向杆滑动。

13.根据权利要求1所述的升降抖动装置,其特征在于,所述抖动驱动装置为第一电机。

14.根据权利要求1所述的升降抖动装置,其特征在于,所述提升驱动装置为第二电机。

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