[发明专利]升降抖动装置有效
申请号: | 201110459871.6 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN102553854A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 王振荣;刘红兵;黄利松 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/306;H05K3/26 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 升降 抖动 装置 | ||
1.升降抖动装置,其特征在于,包括:
挂篮支架;
抖动驱动装置,抖动驱动装置与挂篮支架传动连接;抖动驱动装置驱动挂篮
支架上下往复运动;
提升驱动装置,提升驱动装置与挂篮支架传动连接,提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。
2.根据权利要求1所述的升降抖动装置,其特征在于,所述的抖动驱动装置为第一电机,第一电机的输出轴上设置有偏心装置,偏心装置与挂篮支架连接;
驱动装置驱动偏心装置转动;偏心装置驱动挂篮支架上下往复运动。
3.根据权利要求2所述的升降抖动装置,其特征在于,所述偏心装置包括圆形的驱动转盘和从动转盘;所述从动转盘安装于驱动转盘的非圆心位置。
4.根据权利要求3所述的升降抖动装置,其特征在于,所述的挂篮支架包括抖动基板,抖动基板搭靠在从动转盘上。
5.根据权利要求4所述的升降抖动装置,其特征在于,所述从动转盘为圆形,且可转动地安装在驱动转盘上。
6.根据权利要求1所述的升降抖动装置,其特征在于,提升驱动装置通过传动装置与挂篮传动连接;传动装置包括推杆,提升驱动装置驱动推杆上下运动。
7.根据权利要求6所述的升降抖动装置,其特征在于,所述的挂篮包括抖动基板,抖动基板设置于推杆向上移动的路线上;抖动基板上安装有限位装置;
所述限位装置与抖动基板之间具有容纳从动圆盘的间隙,将从动圆盘限制于限位装置与抖动基板之间;所述限位装置可转动地设置;限位装置设置于推杆向上移动的路线上,推杆向上移动时推动限位装置旋转,并且在限位装置旋转后脱离对从动圆盘的限制。
8.根据权利要求7所述的升降抖动装置,其特征在于,所述的限位装置为Z形架。
9.根据权利要求8所述的升降抖动装置,其特征在于,所述Z字形架包括依次连接的第一板、第二板和第三板;第一板与第二板之间的夹具α小于90°;第二板与第三板之间的夹角β大于等于90°;第一板位于推杆向上移动的路线上;第一板可转动地设置。
10.根据权利要求6所述的升降抖动装置,其特征在于,所述提升驱动装置通过齿轮换向器与推杆传动连接;提升驱动装置通过齿轮换向器驱动推杆上下移动。
11.根据权利要求1所述的升降抖动装置,其特征在于,还包括固定基板,所述提升驱动装置和抖动驱动装置安装于固定基板上。
12.根据权利要求11所述的升降抖动装置,其特征在于,还包括导向杆;挂篮支架设置有抖动基板,导向杆穿过抖动基板;抖动基板可沿导向杆滑动。
13.根据权利要求1所述的升降抖动装置,其特征在于,所述抖动驱动装置为第一电机。
14.根据权利要求1所述的升降抖动装置,其特征在于,所述提升驱动装置为第二电机。
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