[发明专利]刻蚀装置和刻蚀方法无效
| 申请号： | 201110459321.4 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103794428A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 宋利建;车志广 | 申请（专利权）人： | 四川虹欧显示器件有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00;H01J9/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;余刚 |
| 地址： | 621000 四川省绵阳市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 刻蚀 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种刻蚀装置，包括：并行设置的多个喷管(1)和与所述喷管(1)连接的第一喷嘴，其特征在于，所述刻蚀装置还包括：
喷液装置(3)，位于喷管(1)的上游侧，所述喷液装置(3)包括：
液体注入部；
液体存储部(5)，与所述液体注入部连通；
第二喷嘴(6)，位于所述液体存储部(5)的底部。
2.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述液体注入部包括多个并行设置的软管(4)。
3.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述液体存储部(5)包括本体部(51)和收缩部(52)，所述收缩部(52)位于所述本体部(51)的下方并朝向下方逐渐收缩地延伸，所述第二喷嘴(6)连接在所述收缩部(52)的底部。
4.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述第二喷嘴(6)具有可调的出液间隙。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的刻蚀装置，其特征在于，所述第二喷嘴(6)的出液间隙沿垂直于所述喷管(1)的方向延伸。
6.一种刻蚀方法，其特征在于，使用权利要求1至5中任一项所述的刻蚀装置，包括以下步骤：
利用喷液装置(3)的第二喷嘴(6)使刻蚀液自然流到待刻蚀部件的表面；
利用与喷管(1)连接的第一喷嘴向所述待刻蚀部件的表面喷射刻蚀液从而制得电极。
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