[发明专利]砷化镓的处理设备及处理方法

权利要求书

1.一种砷化镓的处理设备，其特征在于，包括：

石英舟(2)，用于盛放砷化镓废料(1)；

石英管(3)，具有封闭端(31)和开口端(33)，盛放有砷化镓废料(1)的石英舟(2)将置于封闭端(31)；

水平晶体生长炉，包括水平晶体生长炉加热区(4)，水平晶体生长炉加热区(4)包围石英管(3)的封闭端(31)且包围石英管(3)内的石英舟(2)；

密封件(5)，将石英管(3)的开口端(33)封闭；以及

真空机组(6)，经由密封件(5)连通于石英管(3)。

2.根据权利要求1所述的砷化镓的处理设备，其特征在于，密封件(5)为耐热橡胶垫。石英舟可为石墨舟。

3.根据权利要求1所述的砷化镓的处理设备，其特征在于，石英舟(2)为石墨舟。

4.根据权利要求1所述的砷化镓的处理设备，其特征在于，还包括：

冷凝器(7)，设置于石英管(3)的未被水平晶体生长炉加热区(4)包围的部分处。

5.根据权利要求1所述的砷化镓的处理设备，其特征在于，石英管(3)的未被水平晶体生长炉加热区(4)包围的部分设置成位于水平晶体生长炉之外且置于外部空气中。

6.一种砷化镓的处理方法，其特征在于，采用根据权利要求1-3中任一项所述的砷化镓的处理设备，所述砷化镓的处理方法包括步骤：

将砷化镓废料(1)放入石英舟(2)中；

将装有砷化镓废料(1)的石英舟(2)放入石英管(3)的封口端(31)；

将石英管(3)的封口端(31)放入水平晶体生长炉的水平晶体生长炉加热区(4)，并使石英舟(2)处于水平晶体生长炉加热区(4)范围内；

使得石英管(3)的开口端(33)置于水平晶体生长炉之外；

通过密封件(5)密封石英管(3)的开口端(33)；

通过密封件(5)使得石英管(3)与真空机组6连通；

开启真空机组(6)，待石英管(3)内的压强小于预定压力时，启动水平晶体生长炉加热区(4)工作，以加热至规定温度并保温预定时间，使石英管(3)内的砷化镓废料(1)中的砷化镓分解，以生成液态镓和气态砷；以及

在所述压强下自然冷却。

7.根据权利要求6所述的砷化镓的处理方法，其特征在于，石英管(3)的未被水平晶体生长炉加热区(4)包围的置于水平晶体生长炉之外的部分包围有冷凝器。

8.根据权利要求6所述的砷化镓的处理方法，其特征在于，石英管(3)的未被水平晶体生长炉加热区(4)包围的置于水平晶体生长炉之外的部分处于空气中。

9.根据权利要求6所述的砷化镓的处理方法，其特征在于，预定压力为10pa，预定温度为至1000～1100℃，保温时间为2～3h。