[发明专利]半导体工艺监测方法和半导体工艺监测装置

说明书

技术领域

本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种半导体工艺监测方法和半导体工艺监测装置。

背景技术

在半导体制造工艺中，若最终工艺结果出现异常，则需要收集工艺过程中的工艺数据并根据收集的工艺数据对出现异常的原因进行分析。半导体工艺过程的复杂性造成最终工艺结果出现异常的原因很多，因此收集整个工艺过程中的各种工艺数据对于分析最终工艺结果出现异常的原因以诊断出至关重要。

通常采用专门的数据采集系统收集由半导体工艺设备执行的工艺过程中的各种工艺数据。对于复杂的半导体工艺设备，除了数据采集系统还需要有数据分析和故障诊断系统对工艺数据进行处理。例如：先进工艺控制(Advanced Process Control，简称：APC)系统，该APC系统集成了数据采集系统以及数据分析和故障诊断系统。该APC软件系统功能复杂，需要存储大量工艺数据，因此通常将该APC系统单独设置，例如：可设置于专门的电脑或者服务器上。此时，分布式的数据采集系统相对于工艺控制系统单独设置，当数据采集系统被人为关闭或异常退出时停止对工艺数据的采集，工艺控制系统在未得知数据采集系统停止对工艺数据采集的情况下会继续控制半导体设备进行工艺过程，从而造成工艺过程中的工艺数据未被采集的情况。

发明内容

本发明提供一种半导体工艺监测方法和半导体工艺监测装置，用以避免工艺过程中的工艺数据未被采集的情况。

为实现上述目的，本发明提供了一种半导体工艺监测方法，包括下列步骤：

通过数据采集系统收集半导体工艺过程的工艺数据；

在设定时间内向所述数据采集系统发送备份监测请求数据；

若查询出指定时间内未接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据，则生成数据采集系统停止运行的提示信息，提示用户选择备份监测系统继续收集工艺数据。

进一步地，生成所述提示信息之后还包括：

判断用户输入的执行命令为选择备份监测系统继续监测命令或者停止监测命令，若判断出所述执行命令为选择备份监测系统继续监测命令，由备份监测系统继续收集工艺数据。

进一步地，若判断出所述执行命令为所述停止监测命令，停止向所述数据采集系统发送监测请求数据。

进一步地，所述通过数据采集系统收集半导体工艺过程的工艺数据之前还包括：对超时次数进行清零处理，所述超时次数为执行查询指定时间内是否接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据的次数。

进一步地，若查询出指定时间内未接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据，表示应答超时，还需要进一步执行：

判断所述超时次数是否大于指定次数；

若判断出所述超时次数大于所述指定次数，执行所述生成数据采集系统停止运行的提示信息的步骤。

进一步地，若判断出超时次数小于或者等于指定次数，执行所述通过数据采集系统收集半导体工艺过程的工艺数据的步骤。

进一步地，所述查询出指定时间内未接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据之后还包括：

对所述超时次数进行加1处理，并执行所述判断超时次数是否大于指定次数的步骤。

为实现上述目的，本发明还提供了一种半导体工艺监测装置，包括：数据采集系统和备份监测系统，其中：

所述数据采集系统用于收集半导体工艺过程中的工艺数据以及向所述备份监测系统返回监测应答数据；

所述备份监测系统，包括：

发送模块，用于在设定时间内向数据采集系统发送备份监测请求数据；

查询模块，用于查询指定时间内是否接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据；

生成模块，用于若所述查询模块查询出指定时间内未接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据，生成数据采集系统停止运行的提示信息，提示用户选择备份监测系统继续收集工艺数据；

数据收集模块，用于收集工艺数据。

进一步地，所述备份监测系统，还包括：

第一判断模块，用于判断用户输入的执行命令为选择备份监测系统继续监测命令或者停止监测命令，若所述第一判断模块判断出所述执行命令为选择备份监测系统继续监测命令，则触发所述数据收集模块继续收集工艺数据。

进一步地，所述备份监测系统，还包括：

停止通知模块，用于若所述第一判断模块判断出所述执行命令为所述停止监测命令，向所述发送模块发送停止通知，以通知所述发送模块停止向所述数据采集系统发送备份监测请求数据。

进一步地，所述备份检监测系统，还包括：