[发明专利]半导体工艺监测方法和半导体工艺监测装置

权利要求书

1.一种半导体工艺监测方法，其特征在于，包括下列步骤：

通过数据采集系统收集半导体工艺过程的工艺数据；

在设定时间内向所述数据采集系统发送备份监测请求数据；

若查询出指定时间内未接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据，则生成数据采集系统停止运行的提示信息，提示用户选择备份监测系统继续收集工艺数据。

2.根据权利要求1所述的半导体工艺监测方法，其特征在于，生成所述提示信息之后还包括：

判断用户输入的执行命令为选择备份监测系统继续监测命令或者停止监测命令，若判断出所述执行命令为选择备份监测系统继续监测命令，由备份监测系统继续收集工艺数据。

3.根据权利要求2所述的半导体工艺监测方法，其特征在于，若判断出所述执行命令为所述停止监测命令，停止向所述数据采集系统发送监测请求数据。

4.根据权利要求1或2所述的半导体工艺监测方法，其特征在于，所述通过数据采集系统收集半导体工艺过程的工艺数据之前还包括：对超时次数进行清零处理，所述超时次数为执行查询指定时间内是否接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据的次数。

5.根据权利要求4所述的半导体工艺监测方法，其特征在于，若查询出指定时间内未接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据，表示应答超时，还需要进一步执行：

判断所述超时次数是否大于指定次数；

若判断出所述超时次数大于所述指定次数，执行所述生成数据采集系统停止运行的提示信息的步骤。

6.根据权利要求5所述的半导体工艺监测方法，其特征在于，若判断出超时次数小于或者等于指定次数，执行所述通过数据采集系统收集半导体工艺过程的工艺数据的步骤。

7.根据权利要求5所述的半导体工艺监测方法，其特征在于，所述查询出指定时间内未接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据之后还包括：

对所述超时次数进行加1处理，并执行所述判断超时次数是否大于指定次数的步骤。

8.一种半导体工艺监测装置，其特征在于，包括：数据采集系统和备份监测系统，其中：

所述数据采集系统用于收集半导体工艺过程中的工艺数据以及向所述备份监测系统返回监测应答数据；

所述备份监测系统，包括：

发送模块，用于在设定时间内向数据采集系统发送备份监测请求数据；

查询模块，用于查询指定时间内是否接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据；

生成模块，用于若所述查询模块查询出指定时间内未接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据，生成数据采集系统停止运行的提示信息，提示用户选择备份监测系统继续收集工艺数据；

数据收集模块，用于收集工艺数据。

9.根据权利要求8所述的半导体工艺监测装置，其特征在于，所述备份监测系统，还包括：

第一判断模块，用于判断用户输入的执行命令为选择备份监测系统继续监测命令或者停止监测命令，若所述第一判断模块判断出所述执行命令为选择备份监测系统继续监测命令，则触发所述数据收集模块继续收集工艺数据。

10.根据权利要求9所述的半导体工艺监测装置，其特征在于，所述备份监测系统，还包括：

停止通知模块，用于若所述第一判断模块判断出所述执行命令为所述停止监测命令，向所述发送模块发送停止通知，以通知所述发送模块停止向所述数据采集系统发送备份监测请求数据。

11.根据权利要求8或9所述的半导体工艺监测装置，其特征在于，所述备份检监测系统，还包括：

清零模块，用于对超时次数进行清零处理，所述超时次数为执行查询指定时间内是否接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据的次数。

12.根据权利要求9所述的半导体工艺监测装置，其特征在于，所述备份监测系统，还包括：

第二判断模块，用于若所述查询模块查询出指定时间内未接收到所述数据采集系统返回的监测应答数据，判断所述超时次数是否大于指定次数，若判断出所述超时次数大于所述指定次数，触发所述生成模块生成数据采集系统停止运行的提示信息。