[发明专利]一种单晶色斑片返工方法

说明书

技术领域

本发明涉及晶硅太阳能电池制作技术领域，具体地涉及到一种晶硅太阳能电池片制绒后色斑片的返工处理的工艺方法。

背景技术

随着化石能源的不断减少和环境污染的不断加剧，新能源的研发与推广使用得到高度关注。其中，太阳能作为新能源之一，其丰富、洁净等优点使其最可能成为新能源的主导。目前，在众多种类的太阳能电池中，晶硅太阳能电池已经成为主导，提高电池的转换效率和降低成本是我们研究的热点。

目前产业化的晶硅太阳能电池片的制造工艺包括制绒、扩散、刻蚀、去PSG、PECVD、丝网印刷、烧结、分类检测。在晶硅太阳能电池的生产工艺中，制绒工序使硅片表面织构化形成随机分布的金字塔结构的绒面或者类似于半球状的凹陷等不同表面形状，是有效地降低表面反射率的方法之一，提高太阳能电池表面的光吸收，达到提高其转换效率的目的。在制绒工序中，经常会出现碎片率高、色斑、花篮印等异常现象，影响生产效率，降低转换效率甚至导致降级或报废，增加生产成本。本发明中采用一种晶硅制绒后色斑片的返工处理方法，有效地降低因色斑片引起的降级或报废的数量，降低了生产成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种单晶色斑片返工方法，采用该方法处理的色斑片能够得到表面干净、绒面均匀的硅片，提高电池片的转换效率，减少因制绒后产生的色斑片而降级或报废的数量，有效地降低生产成本。

本发明的一种单晶色斑片返工方法的技术方案，具体步骤包括：一种晶体硅片制绒后出现的色斑片的处理方法，其工艺步骤如下：

将色斑片分选出来，装片，置于不通源的扩散炉中，进行高温处理；

将高温处理后的硅片放入去离子水中在常温下进行超声波清洗或碱洗处理；

将清洗后的硅片置于一碱和IPA的混合溶液中，进行制绒；

将制绒后的硅片进行喷淋，然后置于氢氟酸和盐酸的混合溶液中进行酸洗处理，并依次进行漂洗，甩干处理。

本发明的有益效果是通过采用本发明提供的处理制绒后色斑片的返工处理的技术方案，去除硅片表面残留的顽固的有机物等引起的色斑，从而获得表面干净、绒面均匀的制绒硅片，提高返工片的转换效率，减少因制绒后产生色斑片而降级或报废的硅片数量，有效地降低生产成本。

附图说明

图1为本发明技术方案中提供的一种单晶色斑片返工方法的工艺流程图；

图2为传统的晶硅太阳能电池片生产工艺中的制绒工序的工艺流程图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明：

本发明提供一种单晶色斑片返工方法包括如下步骤：

1、将色斑片分选出来，在石英舟的每个卡槽内放置一片或两片硅片；

2、将装好硅片的石英舟置于不通源的扩散炉中，在温度830±0.5℃的环境下高温处理5～10min，使有机物挥发达到去除色斑的目的；

3、放入去离子水中进行超声波清洗或碱洗在常温下进行处理，超声波的频率是80KHZ，功率是1800W，清洗时间0～8min，目的是去除硅片表面吸附的污物；

4、将清洗后的硅片置于一定浓度的碱和IPA的混合溶液中进行制绒，碱溶液的质量分数为0.9～1.2wt％，IPA的体积分数为5.2～6.8％，制绒时间为15～18min，制绒槽的温度范围80±2℃，制备出分布均匀的金字塔状绒面，IPA能够增加表面的润湿性，协助气体的释放，减缓碱溶液对硅片表面的腐蚀力度，调节各向异性因子；

5、将制绒后的硅片进行喷淋处理，去除硅片表面的颗粒状等物质；

6、将喷淋后的硅片置于氢氟酸、盐酸和水的混合溶液中进行酸洗处理，氢氟酸的体积分数为0～20％，盐酸的体积分数为0～40％，水的体积分数为40％～60％，时间为0～5min，进一步去除硅片表面的硅酸钠、金属离子及氧化物等；

7、接着进行漂洗、甩干处理。

采用本发明提供的处理制绒后色斑片的返工处理的技术方案，去除硅片表面残留的顽固的有机物等引起的色斑，从而获得表面干净、绒面均匀的制绒硅片，提高返工片的转换效率，减少因制绒后产生色斑片而降级或报废的硅片数量，有效地降低生产成本。