[发明专利]一种单晶色斑片返工方法

权利要求书

1.一种单晶色斑片返工方法，其工艺步骤如下：

(1)将色斑片分选出来，装片，置于不通源的扩散炉中，进行高温处理；

(2)将高温处理后的硅片放入去离子水中在常温下进行超声波清洗或碱洗处理；

(3)将清洗后的硅片置于一碱和IPA的混合溶液中，进行制绒；

(4)将制绒后的硅片进行喷淋，然后置于氢氟酸和盐酸的混合溶液中进行酸洗处理，并依次进行漂洗，甩干处理。

2.根据权利要求1中所述的一种单晶色斑片返工方法，其特征在于：步骤

(1)中高温处理的温度为830±0.5℃高温处理时间为5～10min。

3.根据权利要求1中所述的一种单晶色斑片返工方法，其特征在于：步骤

(2)中超声波清洗的频率是80KHZ，功率是1800W，清洗时间0～8min。

4.根据权利要求1中所述的一种单晶色斑片返工方法，其特征在于：步骤

(3)中碱和IPA的混合液中，碱的质量分数为0.9～1.2wt％，IPA的体积分数为5.2～6.8％，制绒时间为15～18min，制绒槽的温度范围80±2℃。

5.根据权利要求1中所述的一种单晶色斑片返工方法，其特征在于：步骤(4)中的酸洗采用的是氢氟酸、盐酸和水的混合液，其中氢氟酸的体积分数为0～20％，盐酸的体积分数为0～40％，水的体积分数为40％-100％，时间为0～5min。