[发明专利]溅镀靶材检测机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种溅镀靶材检测机构，特别地涉及一种可通用于圆筒形靶材、平面靶材或异型靶材进行靶材内部缺陷、焊合缺陷等检测工作的溅镀靶材检测机构设计。

背景技术

在半导体产品的制程中，为了在基材上形成预定材料的膜层，经常通过溅镀装置利用离子化的气体（电浆）冲击溅镀靶材而释放出预定的粒子，使粒子附着于基材表面而形成所期望的该膜层。

为了避免因溅镀靶材中的缺陷影响溅镀制造制程，所述溅镀靶材通常通过溅镀靶材检测机构进行靶材内部缺陷检测、焊合缺陷检测等，进而从中筛选出不良的溅镀靶材。在现有溅镀靶材检测机构中，超音波检测方式是溅镀靶材进行非破坏性的已知技术中的一种。由于溅镀靶材包括有平面型靶材、圆筒型靶材或异型靶材等多种型式，基于各型式靶材的形状差异，溅镀靶材检测机构各设计专用的机构以适用各类型的靶材。

如中国台湾专利在2010年9月16日公开第201033607号发明专利申请案公开一种专用于“圆筒状溅镀靶材”的“超音波探伤装置”，其主要是在可装填液体的液体槽中将圆筒形溅镀靶材组设其中，且浸置于液体内，在该溅镀靶材的轴两端各设有齿轮，并以齿轮啮合于液体槽底部的齿条上，通过动力传送机构带动溅镀靶材旋转，另外，在液体槽上方装设探测器移动机构，用以带动探测器X方向与Y方向移动，如此，在探测移动机构带动下，利用探测器对圆筒形溅镀靶材顶缘进行超音波检测后，接着由动力传送机构带动溅镀材旋转一定角度，再由探测器对溅镀靶材另一角度区段进行超音波检测，如此进行，直至该圆筒形溅镀靶材全面性完成检测作业。

但是，超音波探伤装置虽可提供一种溅镀靶材检测机构，然而，该超音波探伤装置的设计又仅是适用于圆筒型溅镀靶材，不适用于平面形溅镀靶材，因此，现有溅镀靶材检测机构皆存在有无法通用于各类型(平面型、圆筒形、异型等)溅镀靶材的问题，以致业者为能进行各式溅镀靶材的检测作业，就必须购置多部不同类型溅镀靶材检测机构，而导致设备成本高的问题。

由此可见，上述现有的超音波探伤装置在使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决超音波探伤装置存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。

有鉴于上述现有的超音波探伤装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的溅镀靶材检测机构，能够改进一般现有的超音波探伤装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的超音波探伤装置存在的缺陷，而提供一种新型结构的溅镀靶材检测机构，所要解决的技术问题是使其不仅适用于圆筒状溅镀靶材检测作业，而且通用于各类型溅镀靶材的检测，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种溅镀靶材检测机构，其包括：

液体储槽；

移动式超音波检测机组，其包括移动装置以及超音波检测组件，所述移动装置于液体储槽上，且组接所述超音波检测组件，用以驱动超音波检测组件作三维空间位移；

靶材移动装置，系包括多个滚轴以及一滚轴驱动组件，该多个滚轴并列枢设于液体储槽中，滚轴驱动组件连接该多个滚轴，用以驱动该多个滚轴同向旋转；以及

控制器，其电连接移动装置与滚轴驱动组件，用以控制移动装置与滚轴驱动组件的工作。

前述的溅镀靶材检测机构，其中，所述移动装置包括X轴向移动组件、Y轴向移动组件、Z轴向移动组件以及移动构件；

所述X轴向移动组件设于所述液体储槽的槽壁上，所述X轴向移动组件包括第一移动构件，以及用以驱动所述第一移动构件沿X轴向移动的X轴向驱动器；

所述Y轴向移动组件设于所述X轴向移动组件的第一移动构件上，且可为X轴向移动组件带动沿X轴向移动，所述Y轴向移动组件具有第二移动构件，以及用以驱动所述第二移动构件沿Y轴向移动的Y轴向驱动器；

所述Z轴向移动组件设于所述第二移动构件上，所述Z轴向移动组件包括Z轴向驱动器，所述Z轴向驱动器与所述移动构件相连接；

所述X轴向驱动器、Y轴向驱动器与Z轴向驱动器电连接控制器；

所述超音波检测组件包括至少一个超音波检测单元，所述超音波检测单元设于所述移动构件上。