[发明专利]溅镀靶材检测机构

权利要求书

1.一种溅镀靶材检测机构，其特征在于，其包括：

液体储槽；

移动式超音波检测机组，其包括移动装置以及超音波检测组件，所述移动装置于液体储槽上，且组接所述超音波检测组件，用以驱动超音波检测组件作三维空间位移；

靶材移动装置，系包括多个滚轴以及一滚轴驱动组件，该多个滚轴并列枢设于液体储槽中，滚轴驱动组件连接该多个滚轴，用以驱动该多个滚轴同向旋转；

控制器，所述控制器电连接移动装置与滚轴驱动组件，用以控制所述移动装置与滚轴驱动组件的工作。

2.根据权利要求1所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，

所述移动装置包括X轴向移动组件、Y轴向移动组件、Z轴向移动组件以及移动构件；

所述X轴向移动组件设于所述液体储槽的槽壁上，所述X轴向移动组件包括第一移动构件，以及用以驱动所述第一移动构件沿X轴向移动的X轴向驱动器；

所述Y轴向移动组件设于所述X轴向移动组件的第一移动构件上，且可为X轴向移动组件带动沿X轴向移动，所述Y轴向移动组件具有第二移动构件，以及用以驱动所述第二移动构件沿Y轴向移动的Y轴向驱动器；

所述Z轴向移动组件设于所述第二移动构件上，所述Z轴向移动组件包括Z轴向驱动器，所述Z轴向驱动器与所述移动构件相连接；

所述X轴向驱动器、Y轴向驱动器与Z轴向驱动器电连接控制器；

所述超音波检测组件包括至少一个超音波检测单元，所述超音波检测单元设于所述移动构件上。

3.根据权利要求1所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述滚轴驱动组件包括驱动马达以及轮系传动组，所述驱动马达电连接控制器，驱动马达的旋转作动端结合轮系传动组连接该多个滚轴。

4.根据权利要求2所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述滚轴驱动组件包括驱动马达以及轮系传动组，所述驱动马达电连接控制器，所述驱动马达的旋转作动端结合轮系传动组连接该多个滚轴。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，该靶材移动装置包括主动滚轴和从动滚轴，所述轮系传动组为皮带轮组，其包括主动轮、从动轮以及环状皮带，所述驱动马达以旋转作动端连接主动滚轴的端部，所述主动轮设于所述主动滚轴上，所述从动轮设于从动滚轴上，所述环状皮带环绕于所述主动轮与所述从动轮上。

6.根据权利要求5所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述靶材移动装置包括一调整组件，所述调整组件与从动滚轴相连接，所述调整组件用以调整所述主动滚轴与所述从动滚轴间的相对位置。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述滚轴为复合式滚轴，其包括有轴杆以及多个外套环，该多个外套环套设于该轴杆上。

8.根据权利要求6所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述滚轴为复合式滚轴，其包括有轴杆以及多个外套环，该多个外套环套设于该轴杆上。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述溅镀靶材检测机构进一步包括两个承载架，该两个承载架装设于该液体储槽内部，且分位于该多个滚轴的外围。

10.根据权利要求8所述的溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述溅镀靶材检测机构进一步包括两个承载架，该两个承载架是装设于该液体储槽内部，且分位于该多个滚轴的外围。