[发明专利]薄膜晶体管基板及其制作方法、显示器

说明书

技术领域

本发明有关于一种薄膜晶体管基板，且特别是有关于一种底栅极薄膜晶体管基板。

背景技术

随着显示科技的日益进步，人们借着显示器的辅助可使生活更加便利，为求显示器轻、薄的特性，促使平面显示器(flat panel display，FPD)成为目前的主流。在诸多平面显示器中，液晶显示器(liquid crystal display，LCD)具有高空间利用效率、低消耗功率、无辐射以及低电磁干扰等优越特性，因此，液晶显示器深受消费者欢迎。

液晶显示器主要是由薄膜晶体管基板、彩色滤光基板与位于两基板之间的液晶层所构成。薄膜晶体管基板具有多个底栅极薄膜晶体管。

于现有技术中，底栅极薄膜晶体管的工艺会遭遇到一些问题，例如在形成源极与源极时，容易损伤位于其下的主动层，以致于背通道受损。

发明内容

本发明提供一种薄膜晶体管基板的制作方法包括：提供一基板；于基板上形成一栅极；于基板上形成一覆盖栅极的栅绝缘层；于栅绝缘层上形成一主动材料层；于主动材料层上形成一感光材料层；利用一半调式掩膜(mask)对感光材料层进行一微影工艺，以图案化感光材料层而形成一感光保护层，感光保护层位于栅极上方且具有未贯穿感光保护层的一第一凹槽与一第二凹槽；以感光保护层为掩膜刻蚀主动材料层，以形成一主动层；移除第一凹槽与第二凹槽底部的感光保护层，以分别暴露出主动层的一第一部分与一第二部分；形成一连接第一部分的第一电极；以及形成一连接第二部分的第二电极，其中第一电极为一源极与一源极其中之一，第二电极为源极与源极其中之另一。

本发明另提供一种薄膜晶体管基板包括：一基板；一栅极，位于基板上；一栅绝缘层，位于基板上且覆盖栅极；一主动层，配置于栅绝缘层上，且位于栅极上方；一感光保护层，位于主动层上，且暴露出主动层的一第一部分与一第二部分；一第一电极，连接第一部分；以及一第二电极，连接第二部分。

本发明亦提供一种显示器，包括一如上所述的薄膜晶体管基板；一基板，与该薄膜晶体管基板相对设置；以及一显示介质，设置于该薄膜晶体管基板与该基板之间。

本发明可利用半调式掩膜进行微影工艺以形成具有凹槽的感光保护层。本发明的感光保护层既可作为刻蚀主动材料层时的刻蚀掩膜，又可作为源极/源极工艺的刻蚀停止层，以保护其下的主动层。此外，本发明可选择以等离子体灰化工艺移除感光保护层的凹槽底部以暴露出部分的主动层，由于等离子体灰化工艺可使主动层的暴露出的部分的氧含量降低，故可提高该部分的导电度，进而降低源极/源极与该部分连接时的接触阻抗。

附图说明

图1A至图1F绘示本发明一实施例的薄膜晶体管的制作流程图；

图2A至图2D绘示图1B至图1E的上视图；

图3A至图3F绘示本发明另一实施例的薄膜晶体管的制作流程图；

图4A至图4D绘示图3B至图3E的上视图；

图5绘示本发明一实施例的显示器的剖面图。

附图标号：

110、520～基板；

120～栅极；

130～栅绝缘层；

140～主动层；

140a～主动材料层；

142～侧壁；

144～第一部分；

146～第二部分；

148～第三部分；

150～感光保护层；

150a～感光材料层；

152、153、154、155～外缘；

156～侧壁；

160～第一电极；

170～第二电极；

180～图案化绝缘层；

182～开口；

190～导电层；

500～显示器；

510～薄膜晶体管基板；

530～显示介质；

A1～不透光区；

A2、A4、A5～半透光区；

A3～全透光区；

M～半调式掩膜；

R1～第一凹槽；

R2～第二凹槽。

具体实施方式