[发明专利]一种检测晶片是否异常的方法

权利要求书

1.一种检测晶片是否异常的方法，其特征在于，包括：

在待检测的各晶片上分别设定一个相互对应的标志位置，对应标志位置处的数据为晶片上所测数据的理论最大值；

在待检测的各晶片上除了标志位置外再各设定多个一一相互对应的位置；

采集各晶片上所设定的标志位置以及其他多个位置处的数据并记录；

对各晶片上所采集的数据求平均，得出各晶片所对应的均值；

求每一晶片上标志位置处的数据与该晶片所对应的均值的差值；

判断各晶片所对应的差值是否超出预设范围，如果否，则该晶片正常，如果是，则该晶片异常。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，采集各晶片上所设定的标志位置以及其他多个位置处的数据，包括：

采集各晶片上所设定的标志位置以及其他多个位置处的厚度、尺寸或离子浓度。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在待检测的各晶片上除了标志位置外再各设定4个一一相互对应的位置。