[发明专利]真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法

权利要求书

1.一种真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)提供工件玻璃或塑料；

(2)将工件玻璃或塑料进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；

(3)将经前处理的工件玻璃或塑料装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；

(4)在真空室内预先设有靶材，靶材的材质为Nb、Si或者为Ti、Si，然后向真空室内通入Ar和O₂的混合气体，使真空室的真空度达到10^-1Pa；

(5)给靶材通电，使Ar和O₂的混合气体电离，电离后的粒子轰击靶材，使靶材Nb、Si或者Ti、Si以原子形式逸出，Nb、Si或者Ti、Si原子向下沉积的过程中和O₂电离后的氧原子结合形成Nb₂O₅、SiO₂或者TiO₂、SiO₂，并沉积在工件玻璃或塑料的表面；

(6)控制真空室内传动系统的运动速度，在工件玻璃或塑料表面先沉积8-12nm的Nb₂O₅或者SiO₂，然后在Nb₂O₅或者SiO₂上再沉积100-120nm的SiO₂，使工件玻璃或塑料的透光率从89％提高到94％；

(7)取出工件玻璃或塑料，再进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；

(8)将经前处理的工件玻璃或塑料非膜面朝上装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；

(9)重复步骤(4)、(5)、(6)，使工件玻璃或塑料双面镀膜，将单面增透膜的透光率由94％提高到98％。

2.根据权利要求1所述的真空镀不导电膜的方法，其特征在于：所述步骤(3)及步骤(7)将工件玻璃或塑料进行前处理，前处理包括用纯度大于15MΩ的纯净水来清洗工件玻璃或塑料表面。