[发明专利]薄膜显示元件的检查修正方法以及检查修正装置

说明书

技术领域

本发明涉及检查FPD的非点灯像素，进行非点灯像素的修正的检查修正方法以及检查修正装置，特别是涉及OLED面板等薄膜显示元件的检查、适用于集成的薄膜显示元件的检查修正方法以及检查修正装置。

背景技术

作为FPD(Flat Panel Display)的一种的用于有机EL(Electro Luminescence)显示装置、照明装置的OLED(Organic Light Emitting Diode)面板根据光取出方向的不同被分为顶部发光(top emission)型和底部发光(bottom emission)型两种，顶部发光型一般为图1所示的面板构造。即，顶部发光型在玻璃基板801上形成TFT层(Thin Film Transistor)802，在其上层积透明电极803、有机发光层804、金属电极805、绝缘层806，用树脂807和封装玻璃808封装。在透明电极803和金属电极805之间施加电压，在有机发光层804内部使电子与空穴结合来发光。在该结构中，顶部发光型从与玻璃基板808相反侧取出光810。另一方面，底部发光型如图2所示，从玻璃基板801一侧取出光820。图2所示的底部发光型需要从TFT回路形成部以外的区域取出光，因此开口率低，但是有利于大型化的结构。另一方面，图1所示的顶部发光型从与TFT回路形成部相反侧取出光，因此具有高的开口率，但是难以大型化。因此，顶部发光型多用于便携式电话等小型面板，底部发光型多用于电视机等大型面板。

有机发光层804的膜厚为100nm左右，非常薄是OLED面板的特征。在制造处理过程中，如果因装置产生灰尘等而混入了异物，使透明电极803和金属电极805短路，则相应像素成为不发光。伴随OLED面板的大型化，每个面板的异物数量增加，非点灯像素增加，因此，为了提供成品率，非点灯像素修正的要求变高。

作为OLED面板的非点灯像素的修正技术，目前已知有日本特开2001-118684号公报(专利文献1)、日本特开2005-276600号公报(专利文献2)记载的技术。

根据专利文献1记载的技术，用激光从与非点灯像素对应的金属电极去除短路发生区域。由此，被部分去除的金属电极和透明电极之间的有机发光层变得可发光，非点灯像素被修复。

根据专利文献2记载的技术，通过观察光学系统检测非点灯像素内的异物的位置，用激光以带状地去除异物的周围。由此，异物存在部位被孤立，短路被解除，非点灯像素被修复。

专利文献1、2即使能够修复像素，但是由于激光照射在像素内产生成为非发光的部分，因此需要把成为非发光的面积抑制得较小。

另一方面，显示器的颜色显示方式被分为三类，三色方式(图3)、色变换方式(图4)，彩色滤波方式(图5)。图3～图5以底部发光型为前提进行表记。图3的三色方式是分别分开涂抹发出红色光811的有机材料膜8041、发出绿色光812的有机材料膜8042、发出蓝色光813的有机材料膜8043的方式，为了提高色纯度，有合用彩色滤波器的情形。图4的色变换方式是通过使用蓝色发光有机材料膜8044，使其蓝色光814透过将其进行颜色变换为红色光的色变换层8091和将其进行颜色变换为绿色光的色变换层8092，来获得红色光815、绿色光816的方式。图5的彩色滤波方式是通过使用白色发光有机材料膜8045，透过进行色变换为红色光的彩色滤波器8093、进行色变换为绿色光的彩色滤波器8094、进行色变换为蓝色光的彩色滤波器8095，来获得红色光817、绿色光818、蓝色光819的方式。

在图3所示的三色方式中，需要分开涂抹三种有机材料，分开涂抹目前利用真空蒸发。但是，真空蒸发会发生由于阴影掩膜的热膨胀引起的成膜斑，难以应对面板大型化。作为其它分开涂抹的方法，也有印刷技术，但是印刷技术高分子蓝色发光有机材料的开发滞后。在图4的色变换方式中，蓝色发光有机材料的开发难于红色、绿色发光有机材料。并且色变换效率低成为课题。在图5的彩色滤波方式中，仅使用白色发光有机材料，因此不需要分开涂抹有机材料。虽然发生彩色滤波器中的光量损耗，但是关于彩色滤波器的制造工序可以转用液晶面板中培育出的技术，可以预测在面板的大型化方面，彩色滤波方式将成为主流。