[发明专利]一种具电流扩散结构的发光二极管与其制造方法无效
| 申请号: | 201110398891.7 | 申请日: | 2011-12-05 |
| 公开(公告)号: | CN103137809A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
| 发明(设计)人: | 陈复邦;颜伟昱;张智松 | 申请(专利权)人: | 联胜光电股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/00 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥 |
| 地址: | 中国台湾台中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电流 扩散 结构 发光二极管 与其 制造 方法 | ||
1.一种具电流扩散结构的发光二极管,其特征在于,包含:
一N型半导体层;
一发光层,该发光层设置在该N型半导体层的一侧;
一P型半导体层,该P型半导体层设置在该发光层远离该N型半导体层的一侧;
一N型电极,该N型电极具有一图案分布,且设置在该N型半导体层远离该发光层的一侧;
一P型电极,该P型电极设置在该P型半导体层远离该发光层的一侧;
一电流阻挡层,该电流阻挡层具有该图案分布且对应该N型电极埋设在该N型半导体层内。
2.根据权利要求1所述的具电流扩散结构的发光二极管,其特征在于,该电流阻挡层为选自金属氧化物制成。
3.根据权利要求2所述的具电流扩散结构的发光二极管,其特征在于,该电流阻挡层为选自二氧化钛与二氧化硅所组成的群组制成。
4.根据权利要求1所述的具电流扩散结构的发光二极管,其特征在于,该电流阻挡层的厚度为10~500纳米。
5.根据权利要求1所述的具电流扩散结构的发光二极管,其特征在于,该N型半导体层包含一第一N型半导体层与一第二N型半导体层,该电流阻挡层设置在该第一N型半导体层与该第二N型半导体层之间。
6.根据权利要求1所述的具电流扩散结构的发光二极管,其特征在于,该P型电极与该P型半导体层之间更设置一金属反射层,该金属反射层为选自铝、镍、银与钛所组成的群组制成。
7.根据权利要求6所述的具电流扩散结构的发光二极管,其特征在于,该金属反射层与该P型电极之间更设置一屏障层、一结合层与一永久基板,该屏障层为选自钛、钨、铂、镍、铝与铬所组成的群组制成,该结合层为选自金锡合金、金铟合金与金铅合金的任一种制成,该永久基板为选自硅基板、铜基板、铜钨基板、氮化铝基板与氮化钛基板的任一种制成。
8.一种具电流扩散结构的发光二极管制造方法,其特征在于,步骤包含:
于一暂时基板上长晶形成一第一N型半导体层;
在该第一N型半导体层上形成具一图案分布的一电流阻挡层;
在该第一N型半导体层上侧向长晶形成一第二N型半导体层而包覆埋藏该电流阻挡层;
在该第二N型半导体层上形成一发光层;
在该发光层上形成一P型半导体层;
在该P型半导体层上形成一金属反射层;
在该金属反射层上形成一屏障层;
使该屏障层通过一结合层与一永久基板结合;
去除该暂时基板,在该永久基板镀上一P型电极;
让该第一N型半导体层的表面粗糙化,并在对应该电流阻挡层的位置镀上具该图案分布的一N型电极。
9.根据权利要求8所述的具电流扩散结构的发光二极管制造方法,其特征在于,该电流阻挡层为选自金属氧化物制成。
10.根据权利要求9所述的具电流扩散结构的发光二极管制造方法,其特征在于,该电流阻挡层为选自二氧化钛与二氧化硅所组成的群组制成。
11.根据权利要求8所述的具电流扩散结构的发光二极管制造方法,其特征在于,该电流阻挡层的厚度为10~500纳米。
12.根据权利要求8所述的具电流扩散结构的发光二极管制造方法,其特征在于,该金属反射层为选自铝、镍、银与钛所组成的群组制成。
13.根据权利要求8所述的具电流扩散结构的发光二极管制造方法,其特征在于,该屏障层为选自钛、钨、铂、镍、铝与铬所组成的群组制成,该结合层为选自金锡合金、金铟合金与金铅合金的任一种制成,该永久基板为选自硅基板、铜基板、铜钨基板、氮化铝基板与氮化钛基板的任一种制成。
14.根据权利要求8所述的具电流扩散结构的发光二极管制造方法,其特征在于,在该暂时基板上长晶形成该第一N型半导体层之前,先在该暂时基板上形成一缓冲半导体层,并在去除该暂时基板时,同时去除该缓冲半导体层。
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