[发明专利]基板支承装置

权利要求书

1.一种基板支承装置，其包括：一基体，所述基体具有多个指向基板的导向槽，每个导向槽中均设置有能够沿所述导向槽的指向方向伸缩的一可伸缩机构；

其中所有所述可伸缩机构用于共同支承基板，而且所述可伸缩机构在支承基板时处于压缩状态，并在未支承基板时处于伸展状态；所述基板支承装置还包括用于锁定所述可伸缩机构的压缩状态的一锁定机构。

2.如权利要求1所述的基板支承装置，其特征在于，每个可伸缩机构均包括至少两个部件，所述至少两个部件中至少一个为可伸缩的、其余为刚性的，可伸缩的所述部件与刚性的所述部件沿所述导向槽的指向方向依次连接，所述至少两个部件中最远离所述基体的部件能够接触基板。

3.如权利要求2所述的基板支承装置，其特征在于，所述至少两个部件中最远离所述基体的部件为刚性的部件、并具有一真空腔，所述真空腔在所述最远离所述基体的部件与基板接触的一面具有一开口。

4.如权利要求1所述的基板支承装置，其特征在于，所述可伸缩机构包括一刚性部件和一可伸缩部件，其中所述可伸缩部件设置于所述导向槽内，所述刚性部件抵设于所述可伸缩部件上，并且所述刚性部件还能够接触基板。

5.如权利要求4所述的基板支承装置，其特征在于，所述刚性部件具有一真空腔，所述真空腔在所述刚性部件与基板接触的一面具有一开口。

6.如权利要求5所述的基板支承装置，其特征在于，所述刚性部件与所述基板接触的一面设置有一第一缓冲部件，并且所述第一缓冲部件包围所述开口。

7.如权利要求6所述的基板支承装置，其特征在于，所述第一缓冲部件为一环形橡胶垫圈。

8.如权利要求4所述的基板支承装置，其特征在于，所述刚性部件与所述基板接触的一面设置有一第二缓冲部件。

9.如权利要求8所述的基板支承装置，其特征在于，所述第二缓冲部件为一橡胶垫。

10.如权利要求1-9中任一项所述的基板支承装置，其特征在于，所述基板支承装置还包括一升降机构，所述基体沿所述升降机构的升降运动方向设置于所述升降机构上。

11.一种基板印锡装置，其包括：

一如权利要求3或权利要求7中所述的基板支承装置、一网板、一用于在所述网板上涂敷锡膏的涂锡装置以及一用于将所述网板上的锡膏印制到基板上的刮刀；

其中所述基板支承装置支承于基板的一第一表面，所述网板设置于所述基板上与所述第一表面相对的一第二表面上，所述涂锡装置将锡膏涂敷于所述网板上远离所述第二表面的一面上，所述刮刀在所述网板上涂敷有锡膏的一面上移动并将所述网板上的锡膏挤压至所述第二表面上。

12.一种基板印锡装置，其包括：

一如权利要求10中所述的基板支承装置、一空间位置固定的网板、一用于在所述网板上涂敷锡膏的涂锡装置以及一用于将所述网板上的锡膏印制到基板上的刮刀；

其中所述基板支承装置支承于基板的一第一表面并将所述基板上与所述第一表面相对的一第二表面支承到与所述网板接触，所述涂锡装置将锡膏涂敷于所述网板上远离所述第二表面的一面上，所述刮刀在所述网板上涂敷有锡膏的一面上移动并将所述网板上的锡膏挤压至所述第二表面上。

13.如权利要求12所述的基板印锡装置，其特征在于，所述基板印锡装置还包括一接触传感器，所述接触传感器用于检测基板是否与所述网板接触；

其中当所述接触传感器检测到所述网板与基板接触时，所述升降机构停止升降运动并且所述锁定机构锁定所述可伸缩机构的压缩状态，否则所述升降机构进行升降运动并且所述锁定机构停止锁定所述可伸缩机构的压缩状态。