[发明专利]一种装有保温内桶的周期交替操作的多晶硅还原炉及操作方法

权利要求书

1.一种装有保温内桶的周期交替操作的多晶硅还原炉，其特征是保温内桶为圆桶状，保温内桶的材料为碳-碳复合材料，不锈钢或者石墨，保温内桶的外径较还原炉内壁直径小10-30cm，保温内桶的高度较硅棒的高度高约10-50cm，内桶的壁厚为5-10cm，通过螺栓固定在底盘上。

2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征是保温内桶的顶部开有均匀的圆孔，位置与硅棒位置相对应。

3.如权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征是在保温内桶的外壁连接有不锈钢板或者石墨板，不锈钢或石墨板沿保温内桶外壁从保温内桶底部盘旋至保温内桶顶部呈螺旋状，螺距为500cm-1500cm，不锈钢或石墨板的宽为5cm-30cm，厚度为5-20mm。

4.如权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征是底盘在保温内桶和钟罩之间的区域上开有通气口，通气口的直径为20-80mm。

5.权利要求1～4的任意一项权利要求的多晶硅还原炉的操作方法，其特征是该多晶硅还原炉进气出气采取周期更替的操作方式，周期为30～360min。