[发明专利]一种失效分析方法

说明书

 

技术领域

本发明涉及一种失效分析方法。

 

背景技术

产品丧失规定的功能称为失效，判断失效的模式，查找失效原因和机理的对策的技术活动和管理活动称为失效分析。在常见的电路失效分析案例中，众多的失效案例面临着失效原因的证明困境，即如何运用失效分析中的工作成果来说服他人，导致了失效分析工作的失败，从而降低了失效原因判定的有效性。

因此，如何提高失效分析原因判定的有效性，提高失效分析工作的成功率，成为失效分析领域亟待解决的问题。

 

发明内容

为解决现有失效分析工作，原因判定的有效性差，失效分析工作的成功率低的问题，本发明提供以下技术方案：

一种失效分析方法，该方法包括以下步骤：

   A、接收良品样品和不良品样品；

B、对不良品的失效背景和失效现象进行归纳和总结；

C、对不良品进行前期无损分析和失效定位汇总，失效机理预计，确定比对特征；

D、结合预计失效机理和客户要求，设计分析方案；

E、使用设计的分析方案分别对良品和不良品进行分析，分别确定比对特征的有无；

F、根据良品和不良品比对特征的有无，确定出物证特征，判定出不良品的具体失效原因。

作为本发明的一种优选方案，所述失效分析方法还包括步骤G：进行模拟实验，验证失效机理。

作为本发明的另一种优选方案，所述步骤A中接收的良品样品数量和不良品样品数量都不少于3个。

作为本发明的又一种优选方案，所述步骤E中良品和不良品比对特征的有无状态包括：T1：全部不良品都有该比对特征，全部良品都没有该比对特征；T2：部分不良品有该比对特征，全部良品都没有该比对特征；T3：全部不良品都有该比对特征，全部良品都有该比对特征；T4：部分不良品有该比对特征，全部良品都有该比对特征；T5：部分不良品有该比对特征，部分良品有该比对特征；T6：全部不良品有该比对特征，部分良品有该比对特征。

作为本发明的再一种优选方案，所述步骤E中，判断出比对特征有无的状态为T1，则可以直接进行步骤F。

作为本发明的再一种优选方案，所述步骤E中，判断出比对特征有无的状态为T2，则需要优化分析手段，再次进行分析，如果再次分析判断出比对特征有无的状态为T1，则可以直接进行步骤F，如果再次分析判断出比对特征有无的状态为T4，则按照判断出比对特征有无的状态为T4结果继续进行分析。

作为本发明的再一种优选方案，所述步骤E中，判断出比对特征有无的状态为T3，则需要确定新的比对特征，设计新的分析方案，重复步骤E。

作为本发明的再一种优选方案，所述步骤E中，判断出比对特征有无的状态为T4，则将不良品分为两部分，有比对特征的不良品为一部分，与全部良品共同构成状态T1，可直接进行步骤F；没有比对特征的不良品为一部分，则构成状态T3，需要确定新的比对特征，设计新的分析方案，重复步骤E。

作为本发明的再一种优选方案，所述步骤E中，判断出比对特征的有无状态为T5或者T6，则需要确定新的比对特征，设计新的设计方案，重复步骤E。

作为本发明的再一种优选方案，所述失效分析方法还包括步骤H：给出分析结论及建议。

本发明有如下优点：本发明方法通过将法学领域中的“同一认定原理”、“相对性原理”、“物质性原理”和“信息转移原理”运用到失效分析工作中，把针对不同失效模式的失效分析流程标准化，运用法学原理来整合失效分析全过程，从而能够在各项零散的证据之间实现相互验证，相对于其他的零散服务模式，对集成电路进行完整的失效分析，得出具有更强大的准确性和说服力的结论。

 

附图说明

   图1 本发明方法分析步骤流程图。

     

具体实施方式

下面对该工艺实施例作详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围作出更为清楚明确的界定。