[发明专利]一种失效分析方法

权利要求书

1.一种失效分析方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

 A、接收良品样品和不良品样品；

B、对不良品的失效背景和失效现象进行归纳和总结；

C、对不良品进行前期无损分析和失效定位汇总，失效机理预计，确定比对特征；

D、结合预计失效机理和客户要求，设计分析方案；

E、使用设计的分析方案分别对良品和不良品进行分析，分别确定比对特征的有无；

F、根据良品和不良品比对特征的有无，确定出物证特征，判定出不良品的具体失效原因，得出失效机理。

2.根据权利要求1所述的一种失效分析方法，其特征在于：所述失效分析方法还包括步骤G：进行模拟实验，验证失效机理。

3.根据权利要求1所述的一种失效分析方法，其特征在于：所述步骤A中接收的良品样品数量和不良品样品数量都不少于3个。

4.根据权利要求1所述的一种失效分析方法，其特征在于：所述步骤E中良品和不良品比对特征的有无状态包括：T1：全部不良品都有该比对特征，全部良品都没有该比对特征；T2：部分不良品有该比对特征，全部良品都没有该比对特征；T3：全部不良品都有该比对特征，全部良品都有该比对特征；T4：部分不良品有该比对特征，全部良品都有该比对特征；T5：部分不良品有该比对特征，部分良品有该比对特征；T6：全部不良品有该比对特征，部分良品有该比对特征。

5.根据权利要求4所述的一种失效分析方法，其特征在于：所述步骤E中，判断出比对特征有无的状态为T1，则可以直接进行步骤F。

6.根据权利要求4所述的一种失效分析方法，其特征在于：所述步骤E中，判断出比对特征有无的状态为T2，则需要优化分析手段，再次进行分析，如果再次分析判断出比对特征有无的状态为T1，则可以直接进行步骤F，如果再次分析判断出比对特征有无的状态为T4，则按照判断出比对特征有无的状态为T4结果继续进行分析。

7.根据权利要求4所述的一种失效分析方法，其特征在于：所述步骤E中，判断出比对特征有无的状态为T3，则需要确定新的比对特征，设计新的分析方案，重复步骤E。

8.根据权利要求4所述的一种失效分析方法，其特征在于：所述步骤E中，判断出比对特征有无的状态为T4，则将不良品分为两部分，有比对特征的不良品为一部分，与全部良品共同构成状态T1，可直接进行步骤F；没有比对特征的不良品为一部分，则构成状态T3，需要确定新的比对特征，设计新的分析方案，重复步骤E。

9.根据权利要求4所述的一种失效分析方法，其特征在于：所述步骤E中，判断出比对特征的有无状态为T5或者T6，则需要确定新的比对特征，设计新的设计方案，重复步骤E。

10.根据权利要求2所述的一种失效分析方法，其特征在于：所述失效分析方法还包括步骤H：给出分析结论及建议。