[发明专利]检查方法有效

专利信息
申请号: 201110376349.1 申请日: 2011-11-21
公开(公告)号: CN102564345A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 黄凤夏 申请(专利权)人: 株式会社高永科技
主分类号: G01B11/25 分类号: G01B11/25
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 顾红霞;彭会
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 检查 方法
【权利要求书】:

1.一种检查方法,包括:

在板上设定测量区域;

获取所述测量区域的基准数据和测量数据;

通过块单元建立多个特征块以便包含所述测量区域中的预定形状;

通过合并所述特征块中的重叠的特征块来建立合并块;

通过将与除所述合并块以外的所述特征块和/或所述合并块对应的基准数据和测量数据进行比较来获得变形度;以及

补偿所述变形度,以便在目标测量区域中设定检查区域。

2.根据权利要求1所述的检查方法,其中,

在所述测量区域中的所述预定形状包括弯曲图案和孔图案中的至少一者。

3.根据权利要求1所述的检查方法,其中,

所述通过块单元建立多个特征块以便包含所述测量区域中的预定形状的步骤包括:

找到与所述预定形状对应的弯曲电路图案的角部的位置;以及

建立所述弯曲电路图案的角部的边缘区,并且建立由所述建立的边缘区限定的特征块。

4.根据权利要求3所述的检查方法,其中,

所述通过合并所述特征块中的重叠的特征块来建立合并块的步骤包括:

合并所述重叠的特征块的边缘区;以及

通过提取所述合并后的边缘区的最小四边形来建立合并块。

5.根据权利要求1所述的检查方法,其中,

所述通过将与除所述合并块以外的特征块和/或所述合并块对应的基准数据和测量数据进行比较来获得变形度的步骤包括:

从除所述合并块以外的特征块和/或所述合并块中提取比较块;以及

通过将与所述提取的比较块对应的基准数据和测量数据相互比较来获得变形度。

6.根据权利要求5所述的检查方法,其中,

所述提取的比较块为多个,并且这些比较块被提取成在所述测量区域中均匀分布。

7.根据权利要求5所述的检查方法,其中,

所述提取的比较块为多个,并且

在除所述合并块以外的特征块和/或所述合并块中,所述基准数据和所述测量数据之间的形状差异越小,则赋予所述特征块或所述合并块的分数越大;以及

基于所述分数提取所述比较块。

8.根据权利要求5所述的检查方法,其中,

所述获取的变形度作为与所述比较块对应的所述基准数据和所述测量数据之间的量化变换公式,并且

通过利用位置变化、斜度变化、尺寸变化和转换程度中的至少一者来确定所述量化变换公式,所述位置变化、斜度变化、尺寸变化和转换程度是通过将与所述比较块对应的所述基准数据和所述测量数据相互比较而获得的。

9.根据权利要求5所述的检查方法,其中,

如果所述合并的特征块的数量大于或等于预定的基准数,则在提取比较块时排除通过合并特征块而获得的合并块。

10.根据权利要求1所述的检查方法,其中,

每个所述特征块的所述预定形状具有二维标识符,从而消除了因周围形状而导致错误辨识的可能性。

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