[发明专利]一种WO3-TiO2复合靶材及其制备方法无效
| 申请号： | 201110372849.8 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN103121838A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 杨海涛;尚福亮;刘存奇;高玲;彭程万 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C04B35/46 | 分类号： | C04B35/46;C04B35/622 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 wo sub tio 复合 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种致密的WO3-TiO2复合陶瓷靶材，其特征不添加任何烧结助剂而使该靶材烧结致密化，相对密度在95％以上。
2.根据权利要求1所述的WO3-TiO2复合陶瓷靶材，烧结后靶材的纯度高于99.9％，抗弯强度大于60Mpa。
3.根据权利要求1所述的WO3-TiO2复合陶瓷靶材，主要通过球磨-干燥-过筛-成型-烧结等工序制成。
4.根据权利要求1所述的WO3-TiO2复合陶瓷靶材，其烧结工艺具体采用常压烧结工艺、热压烧结工艺、或气压烧结工艺。
5.根据权利要求1所述的WO3-TiO2复合陶瓷靶材，既适用于粒度为5-30微米的普通粒度氧化钨和氧化钛粉末原料，也适用于纳米级的氧化钨和氧化钛粉末原料，且该靶材能够便利地制成各种复杂形状。
6.一种致密的WO3-TiO2复合陶瓷靶材的制备方法，其包括如下步骤：将权利要求5所述的原料在室温下球磨12-48小时，然后再在60-100℃下干燥4-12小时，干燥后的原料在过40-80目筛，在60-150Mpa的压力下进行压制成型，成型后的材料在300-500℃下保温2-4小时，最后再在1200-1400℃下空气气氛中常压烧结2-6小时，随炉冷却。
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