[发明专利]镀膜件及其制造方法无效
申请号: | 201110365225.3 | 申请日: | 2011-11-17 |
公开(公告)号: | CN103114287A | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 张新倍;蒋焕梧;陈正士;李聪 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C28/04 | 分类号: | C23C28/04;C25D11/04;C25D11/18;C23C14/08;C23C14/10 |
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地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 及其 制造 方法 | ||
1.一种镀膜件,包括基体及形成于基体表面的阳极氧化膜,其特征在于:所述镀膜件还包括依次形成于该阳极氧化膜表面的真空镀膜层,所述阳极氧化膜表面呈不连续状,所述真空镀膜层为二氧化硅层或氧化铝层。
2.如权利要求1所述的镀膜件,其特征在于:所述阳极氧化膜表面形成有氯化铝。
3.如权利要求1所述的镀膜件,其特征在于:所述真空镀膜层的厚度为1~1.8μm。
4.如权利要求1所述的镀膜件,其特征在于:所述真空镀膜层为无色透明状。
5.一种镀膜件的制造方法,其包括如下步骤:
提供基体;
通过阳极氧化处理的方式,在该基体的表面形成阳极氧化膜;
对所述阳极氧化膜表面进行盐酸水溶液擦拭处理,使所述阳极氧化膜表面呈不连续状;
采用真空镀膜法,以硅靶或铝靶为靶材,以氧气为反应气体,在经上述处理后的阳极氧化膜上形成真空镀膜层,该真空镀膜层为二氧化硅层或氧化铝层。
6.如权利要求5所述的镀膜件的制造方法,其特征在于:所述盐酸水溶液擦拭处理的方法为:采用所述盐酸水溶液的质量百分含量为5-8%对所述阳极氧化膜的表面擦拭1-5min。
7.如权利要求5所述的镀膜件的制造方法,其特征在于:所述盐酸水溶液擦拭处理的方法为:采用所述盐酸水溶液的质量百分含量为5%对所述阳极氧化膜的表面擦拭1min。
8.如权利要求5所述的镀膜件的制造方法,其特征在于:形成所述真空镀膜层的方法为:采用磁控溅射镀膜法,设置硅靶或铝靶的功率为6~15kw,以氧气为反应气体,调节氧气的流量为50~200sccm,以氩气为工作气体,氩气的流量为100~300sccm,施加于基体的偏压为-100~-300V,镀膜温度为10~200℃,镀膜时间为30~40min。
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