[发明专利]衬底接合设备及使用衬底接合设备的衬底接合方法

权利要求书

1.一种衬底接合设备，其包括：

安置板，其上面安置有一对衬底且在所述一对衬底之间施加了密封剂；

导轨，其设置在所述安置板周围；

光辐射器，其安装在所述导轨上，沿着其上施加有所述密封剂的线路被水平驱动，且从所述衬底的上侧对所述密封剂发射光以使所述密封剂固化；以及

控制器，用以控制所述光辐射器的驱动。

2.根据权利要求1所述的衬底接合设备，其中轨道升降机设置在所述导轨下方以垂直移动所述导轨。

3.根据权利要求1所述的衬底接合设备，其中衬底安置凹座设置在所述安置板的顶面中，或挡止器耦合到所述顶面。

4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的衬底接合设备，其中所述光辐射器包括：

承辊，其安装在所述导轨上以水平移动；

垂直框架，其垂直耦合到所述承辊的顶面且具有可变的垂直长度；

水平框架，其水平耦合到所述垂直框架的上端以侵入所述衬底的上侧，且具有可变的水平长度；以及

光源，其连接到所述水平框架的侧部以对所述密封剂发射光。

5.根据权利要求4所述的衬底接合设备，其中所述光源包括：

多个发光二极管；

波长转换器，其用以将从所述发光二极管发射的射线进行组合；

可变光阑，其用以调节由所述波长转换器组合的所述射线的辐射量；以及

透镜，其用以使穿过所述可变光阑的射线折射。

6.根据权利要求5所述的衬底接合设备，其中从所述光源发射到所述密封剂的射线为紫外线。

7.根据权利要求4所述的衬底接合设备，其中所述承辊包括：

承辊主体，其安装在所述导轨上；以及

驱动马达，其设置在所述承辊主体中且包括耦合到驱动轴的小齿轮传动装置。

8.根据权利要求7所述的衬底接合设备，其中所述导轨包括在其纵向方向上的齿条传动装置，其与所述小齿轮传动装置啮合。

9.一种衬底接合方法，其包括：

制备一对衬底且在所述一对衬底之间施加了密封剂；

将所述衬底安置在安置板上；以及

在所述衬底上沿着密封剂施加线路发射光以使所述密封剂固化。

10.根据权利要求9所述的衬底接合方法，其中所述衬底由透光材料形成。

11.根据权利要求10所述的衬底接合方法，其中所述密封剂施加线路具有沿着所述衬底边缘的闭合曲线形状，或所述衬底中心部分中的多个闭合曲线形状。