[发明专利]空间立体式在线搬送系统

权利要求书

1.一种空间立体式在线搬送系统，其特征在于，包括：带有导轨的天棚，设置在所述天棚底面、用于暂存基板的若干卡匣，位于所述卡匣下方、用于处理基板的若干处理设备，以及用于在所述卡匣与所述处理设备之间搬送基板的空中搬送装置，所述空中搬送装置与所述导轨滑动连接。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述空中搬送装置包括一机械抓取器、一伸缩机构以及控制所述机械抓取器和伸缩机构的控制器；所述机械抓取器具有中心部以及由所述中心部向外延伸的若干带有手爪的机械手臂；所述机械抓取器通过所述中心部与所述伸缩机构的底端可旋转连接，所述伸缩机构的顶端与所述天棚的导轨滑动连接。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述导轨在所述天棚的底面呈网状设置。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述伸缩机构为伸缩轴，所述伸缩轴与所述天棚底面垂直。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的系统，其特征在于，所述机械抓取器包括四个所述机械手臂，所述四个机械手臂沿所述中心部的边缘对称分布，所述处理设备为四个，每个所述处理设备对应一个所述机械手臂。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述处理设备具有供所述机械手臂的手爪拾取基板的开口。

7.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述机械抓取器旋转角度为±180°。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器为伺服电机控制器。

9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括风机过滤单元，所述风机过滤单元设置在所述天棚上，且位于所述卡匣旁侧。